Four CSS de laboratoire à deux zones pour le traitement thermique rapide jusqu'à 5" Dia Wafer à Max.800°C - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5 est un four de traitement thermique rapide avec une chambre à quartz de 11" I.D. Il est conçu pour l'évaporation thermique ou CSS ( Sublimation rapprochée ) revêtement de film jusqu'à 5" Dia. Échantillons circulaires et 800°C Max. Le four est chauffé par deux groupes de radiateurs halogènes (Haut et Bas) séparément avec max. 10ºC/s taux de chauffage. Deux contrôleurs de température de précision à 30 segments sont intégrés avec une précision de +/- 1 ºC. Le port RS485 et le logiciel de contrôle sont inclus pour permettre le fonctionnement du four et l'enregistrement du profil de température via un PC. C'est un excellent outil pour rechercher des couches minces de nouvelle génération pour les cellules solaires, telles que les cellules solaires CdTe, sulfure et pérovskite.

CARACTÉRISTIQUES:

Structure du four &amp ; Chambre à vide	· Deux régulateurs de température. · La chambre est constituée d'un tube de quartz fondu de haute pureté. · Taille du tube de quartz : 11" OD/10,8" ID x 9" H · Les brides de vide sont en acier inoxydable 316.
Brides à vide	· La bride supérieure avec un orifice d'aspiration KFD-25 et une sortie de gaz (tuyau 1/4" requis) peut coulisser manuellement vers le haut ou vers le bas pour charger et décharger facilement le substrat et le matériau évaporé. · La bride inférieure a un orifice d'aspiration KFD-25 avec une entrée de gaz (tuyau 1/4" requis) avec vannes à pointeau. · La bride est scellée par des joints toriques doubles en silicone et peut atteindre max. la pression de vide de 10E-2 Torr par une pompe mécanique de qualité et de 10E-5 Torr par une pompe moléculaire (la pompe à vide n'est pas incluse, veuillez la commander séparément). · Un vacuomètre numérique est installé sur la bride supérieure. · La jauge à vide numérique anti-corrosion de précision est dans un emballage standard (Depuis le 24/03/2016) .
Contrôle du débit de gaz	Mélangeur de gaz intégré avec deux compteurs à flotteur avec plages de mesure réglables de 16 à 160 mL/m
Réchauffeur et porte-échantillon	· Deux radiateurs à commande indépendante avec un écart réglable manuellement de 2 à 30 mm. · 20 lampes halogènes sont utilisées comme élément chauffant pour un traitement thermique rapide. · Les radiateurs sont fabriqués en acier inoxydable avec une chemise d'eau froide pour réduire le rayonnement thermique et permettre un refroidissement rapide. · 5" Dia. Le porte-wafer circulaire est intégré dans le radiateur supérieur pour maintenir le substrat. · Un ensemble de plaques AlN à haute conductivité thermique ou de plaques de graphite (diamètre de 5 po x 0,5 mm d'épaisseur) est inclus (placez-les au fond pour faire évaporer le matériau) · Un refroidisseur d'eau à circulation de 58L/min est inclus pour économiser la source d'eau (cliquez sur l'image ci-dessous pour voir les spécifications détaillées).
Contrôleur de température	· Deux contrôleurs de température numériques de précision avec 30 segments programmables offrent un contrôle indépendant des éléments chauffants supérieur et inférieur. · Chaque contrôleur dispose d'une fonction d'autoréglage PID pour protéger les éléments chauffants contre les dépassements et d'une fonction d'alarme pour éviter la surchauffe et la rupture d'un couple thermique. · Interface de communication PC & le logiciel est installé pour enregistrer le profil de température indiqué ci-dessous. ·
Température de fonctionnement	· Température maximale pour chaque élément chauffant : <= 800ºC. · Différence de température maximale entre deux radiateurs : <= 300ºC dépend de l'espacement entre deux radiateurs : o Espacement 30 mm max. différence de température : 315 ºC @ sole chauffante uniquement
Chauffage & Taux de refroidissement	· Chauffage : < 8ºC/s (chauffage simple chauffage uniquement) · Refroidissement : < 10ºC/s (600 - 100ºC) Max.
Couple Thermique	Deux couples thermiques de type K sont installés séparément sur les radiateurs supérieur et inférieur.
Tension de travail	220 VAC, monophasé, 60 A Air Breaker requis
Puissance requise	9.5KW total
Dimensions	1085mm L x 680mm L x 1710mm H
Poids d'expédition & Dimension	· Deux palettes : 525 lb et 48" x 40" x 87" et 165 lb avec dimension 39x31x29"
Optionnel	· Une pompe à vide est nécessaire. Veuillez commander séparément en cliquant sur la première image à partir de la gauche ci-dessous. Le niveau de vide peut atteindre < = 10E-2 torr par pompe mécanique. · Si vous utilisez du gaz corrosif, veuillez envisager d'utiliser la pompe sèche anti-corrosive illustrée dans la deuxième image à partir de la gauche ci-dessous (pompe Pfeiffer d'Allemagne) moyennant des frais supplémentaires. · Vous pouvez choisir le système de distribution de gaz numérique MFC en cliquant sur la première image en bas à droite.
garantie	Un an limité avec assistance à vie (les pièces consommables telles que le tube de quartz et les lampes chauffantes ne sont pas couvertes par la garantie).
Ordinateur portable, logiciel & Contrôle Wi-Fi (facultatif)	· Ordinateur portable neuf avec Microsoft Windows 10 et Microsoft Office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate. · Système de contrôle de température basé sur Labview ( EQ-MTS01 ) permet à l'utilisateur de modifier le profil de température, de gérer la recette de traitement thermique, d'enregistrer et de tracer les données pour les fours MTI. · Une télécommande sans fil offre jusqu'à 300 mètres de portée. · Les fonctionnalités ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires (jusqu'à 1 000 $). Veuillez nous contacter pour plus d'informations. · Noter: Le logiciel n'est compatible qu'avec Tmax Contrôleur de température Yudian
Notes d'application & Avertissements	· Les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C. Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques au tube. · Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr. · Le pied de ce four est conçu pour le transport sur de courtes distances sur une surface plane