Machine de revêtement par évaporation thermique sous vide poussé ultrasonique avec quatre sources de chauffage (10-6 torr)

CARACTÉRISTIQUES

Entrée & Puissance de sortie	· Entrée : 208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, monophasé · Puissance totale requise : 8KW (y compris la pompe) · une autre tension triphasée est disponible sur demande · Sortie : 5 VCA max. et 300A max.
Chambre à vide	· Chambre en acier inoxydable : 280 mm ID. x 375 mm de hauteur, (~ 23 litres) Surface de polissage électrolytique par sablage · Fenêtre d'observation de 100 mm devant la chambre · Porte à charnières pour un chargement facile des échantillons · Des volets à commande manuelle se trouvent au-dessus de chaque bateau d'évaporation W, ce qui permet d'évaporer 4 types de matériaux un par un · 4 ports KF40 intégrés dans la chambre pour la connexion à l'appareil nécessaire
Pompe à vide	· La pompe à vide turbo à grande vitesse est incluse et connectée à la chambre à vide. (veuillez cliquer sur l'image à gauche ci-dessus) o Vitesse du vide : 600L/S o Niveau de vide : 5,0 x 10 -6 Torr (après 40 minutes de pompage) o Vide limite : 5.0x10 -sept Torr (après cuisson à 100 -150°C) o Taux de fuite : 5,0 x 10 -sept Pennsylvanie. o Orifice de vide : 150 mm de diamètre
Source d'évaporation & Porte-échantillon	· Quatre bateaux chauffants en tungstène sont inclus soutenus par des électrodes froides à eau · Le bateau chauffant en tungstène a une dimension de 70 mm L x 12 mm l x 3 mm H 。 Le bateau W de rechange est disponible moyennant des frais supplémentaires 。 · Chaque haut de bateau a un obturateur à commande manuelle · L'obturateur manuel intégré permet à la source d'évaporation d'être utilisée sans contamination · Le porte-échantillon rotatif de 100 mm de diamètre se trouve au-dessus de la chambre avec un diamètre de 260 mm, qui peut être chauffé jusqu'à 600 ° C max. via régulateur de température numérique avec une précision de +/1 °C · La distance entre la source d'évaporation et le porte-échantillon est réglable de 150 à 300 mm
Contrôle d'épaisseur （ optionnel ）	· Un moniteur et un contrôleur d'épaisseur de film haute résolution sont facultatifs （ Cliquez sur l'image ci-dessous pour voir les spécifications détaillées) · La précision du contrôle de l'épaisseur est de 1,0 A
Unité de contrôle	· Le contrôle du vide, de l'épaisseur et de la puissance est intégré dans un seul boîtier de commande · L'unité de contrôle est séparée de la chambre à vide pour un déplacement facile · Vous pouvez placer l'unité de contrôle sur le dessus de la station d'aspiration
Dimensions hors tout	L600mm× L860mm× H1500mm
Poids net	600 kilogrammes
Exigences d'installation pour l'installation	· Espace : 250 SF avec hauteur > 6 pieds · Alimentation : 208 - 240V AC, monophasé avec Max 10KW (disjoncteur 50A) · Eau : > 15L/minute d'eau courante nécessaire pour le refroidissement des électrodes. Vous pouvez commander un refroidisseur d'eau à recirculation pour économiser de l'eau en cliquant sur l'image ci-dessous moyennant des frais supplémentaires.
Notes d'application	· Testez la flexibilité du film mince/électrode revêtu avec Testeur de pliage de mandrin EQ-MBT-12-LD  . ·
Garantie & Certificat	Garantie limitée de deux ans avec assistance à vie Certifié CE