structure du four

zone de chauffage unique

• isolation al2o3 haute pureté        chambre garantit une excellente uniformité de la température.
• les ventilateurs de refroidissement sont installés à        le bas du four pour assurer une ventilation efficace.
• l'ensemble de bride coulissante est fait        en acier inoxydable.
• tube de quartz double: 100 mm        dia. tube extérieur et suspendu de 80 mm de diamètre. intérieur        tube. feuille métallique (graphène        substrat de croissance) sera enroulé autour de la surface intérieure du tube pour        réaction de cvd
• longueur de la zone de chauffage: 440 mm
  longueur de la zone de chauffage à température constante: 120 (± 1 ° c) @ 400 ~ 1100 ° c

• isolation al2o3 haute pureté        la chambre assure une excellente uniformité de la température.
• des ventilateurs de refroidissement sont installés        fond du four pour assurer une ventilation efficace.
• max. température: 1200 ° c et        température continue: 1100 ° c.
• deux zones de chauffage contrôlées        séparément:

rails coulissants à double sens pour assurer   le four se déplace en douceur.

• 200 mm        longueur pour chaque zone de chauffage, longueur totale de chauffage de 400 mm
• 250 mm        zone à température constante si les deux zones chauffent à la même température
• 500oc max        différence de température si placer un bloc thermique entre deux zones

Puissance

zone de chauffage unique
puissance: 208-240vac, 50 / 60hz, monophasé, 2,5kw (disjoncteur 20a   obligatoire)

double zone de chauffage
Puissance:   208-240vac, 50 / 60hz, monophasé, 4 kw (disjoncteur 50a   obligatoire)
dix   pieds câble d'alimentation sans prise de courant (demandez à   électricien agréé pour faire la prise)

température de chauffage

• max. température: 1100 ° c
• température continue: 1000 ° c

chauffage & amp; refroidissement   taux

max. chauffage et refroidissement   les taux dépendent de la température de travail. veuillez cliquer sur les tableaux ci-dessous pour   voir le max. chauffage & amp; la vitesse de refroidissement varie à différentes températures   intervalle.
(vous devez étalonner la température et la vitesse de refroidissement du chauffage à votre travail   état avant utilisation)
parcelle de chauffage parcelle de refroidissement

tubes de quartz fondu

• tube de quartz de haute pureté:

deux paires de brides scellées sous vide avec   vestes de refroidissement à eau et vannes à pointeau en acier inoxydable

• tube extérieur eq-qztube-101d-1400 : od: 4 "x id:        3,8 "x 55" de longueur (od 100 x id 96 x 1400 mm)
• à l'intérieur        tube eq-qztube-80d-1800: od: 3.15: x id x 2.95 "x 70.8"        longueur (od 80 x id 75 x 1800 mm

brides à vide

en utilisant un double tube pour induire la croissance du cvd sur feuille de métal (enroulé autour   surface du tube intérieur):

• 1-1. ci-dessous, une paire de        brides ss304 pour sceller à la fois le tube extérieur et l'espace entre        le tube extérieur et l'intérieur du tube (cet espace est considéré comme un        chambre de réaction).
• bride côté gauche: raccord cannelé         avec robinet à pointeau comme entrée de gaz, une jauge à vide numérique avec une plage de mesure de 10 ^ -4 à         1000 torr ,         entrée / sortie de refroidissement par eau incluse
• bride côté droit: angle droit         Vanne avec raccord à bride KF25, une vanne à pointeau à dépression, eau         entrée / sortie de refroidissement incluse

• 1-2.        laissez les deux extrémités du tube intérieur ouvertes pour le refroidissement du gaz.
• 

vide ultime   pression: 10 ^ -2 torr (par pompe mécanique)
10 ^ -5 torr (par pompe turbo moléculaire)

Contrôleur de température

• contrôle automatique pid avec        30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffe,        taux de refroidissement et temps de séjour.
• alarme de surchauffe intégrée        et la protection permet un fonctionnement sans accompagnateur.
• plus de        la protection de la température et l'alarme permettent        opération sans accompagnateur (s).
• Précision de la température de +/- 1 ºc.
• port de communication rs485.
• température avancée         contrôle (optionnel)
• température mts02-y         kit logiciel de contrôle (pour les contrôleurs de la série yd518p) + ordinateur portable 15 "         package est disponible dans la barre d'options. vous pouvez mettre à niveau le         régulateur de température au eurotherm         Contrôleur de température 3504 qui est entièrement compatible avec         labview. ce package comprend un programmateur eurotherm 3504, un         câble de communication (rs485 - usb) et un logiciel cd. cliquez sur la photo         ci-dessous pour voir la spécification complète du contrôleur de température eurotherm 3504.
• 

débitmètres massiques & amp; station de mélange de gaz

• Débit massique de précision 4        contrôleur (mfc) avec affichage numérique et bouton de réglage sont        installé sur le boîtier inférieur gauche pour contrôler le débit de gaz:
• 4 canaux gaz (contacter mti        ventes si besoin de plus)
• mfc         1: plage de contrôle de 0 à 100 sccm
• mfc         2: plage de contrôle de 0 ~ 200 sccm
• mfc         3: plage de contrôle de 0 ~ 200 sccm
• mfc         4: plage de contrôle de 0 à 500 sccm
• précision du débit: ± 1%        fs
• entrée et sortie de gaz: 1/4 "        connecteur de tube swagelok
• un réservoir de mélange de gaz de 80 ml est        installé dans le boîtier inférieur
• chaque canal de gaz a un        Robinet à pointeau en acier inoxydable pour une mise en marche / arrêt facile
• le débit est réglable        depuis le panneau mfc

station de pompe à vide et   soupapes

facultatif 1:

fonction de refroidissement par eau

• les brides de refroidissement par eau nécessitent        & gt; = 10l / m de débit d'eau.
• vous pouvez utiliser l'eau du robinet comme        liquide de refroidissement, mais nous vous suggérons fortement d'utiliser une eau de recirculation        refroidisseur pour des considérations environnementales. veuillez cliquer sur le pouce ci-dessous pour        commandez le refroidisseur d'eau à un coût supplémentaire.

pièces optionnelles (bâtiment   un four à tube unique)

dimension

livraison

• poids à l'expédition: ~ 800 lb
• expédition par fret avec trois        palettes
• des frais de mise en caisse seront appliqués

garantie

un an limité   garantie du fabricant (pièces consommables telles que tubes de traitement, joints toriques,   et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez   commander des remplacements pour les produits connexes ci-dessous).

ordinateur portable, logiciel et amp;   contrôle wifi (en option)

• tout nouvel ordinateur portable avec microsoft        Windows 10 et Microsoft Office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate        utilisation.
• température basée sur labview        Système de contrôle permet à l'utilisateur de modifier        profil de température, gérer la recette de traitement thermique, enregistrer et tracer les données        pour fours mti.
• une télécommande sans fil        fournit jusqu'à 300 mètres de plage de fonctionnement.
• les fonctionnalités ci-dessus sont disponibles        sur demande à un coût supplémentaire (jusqu'à 1 000 $). S'il vous plaît contactez-nous pour plus        information.

· Remarque:
le logiciel est uniquement compatible avec la température yudienne de mti   manette

conformité

Notes d'application

• les fours tubulaires à tubes de quartz sont conçus        pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,2 bars / 3 psi /        0,02 mpa
• attention : une        un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz        limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement sûr.
• le flux        le taux de gaz doit être limité à & lt; 200 sccm (ou 200        ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube
• définition de la limite de vide pour tous les tubes en quartz        fours: * les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° c
• cliquez ici pour        apprendre comment installer        tube de quartz / céramique et bride à vide pour four tubulaire mti .
• une diapositive        une pince d'arrêt est incluse pour maintenir la position du four.

• après        cvd, le graphène doit être transféré du catalyseur métallique à un autre        substrat pour la plupart des applications. en utilisant le graphène        transfert de bande, le résidu peut être faible.
• 

avertissement