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Slliding Furnace

double tube (100/80 mm) - four coulissant cvd et système de gaz et vide à 4 canaux

  • Model Number:

    TMAX-1200X-4-C4-SL-U
  • Paiement:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
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Détails du produit

double tube (100/80 mm) - four coulissant cvd et gaz 4 canaux & amp; système de vide


tmax-1200x-4-c4-sl-ul est un système spécial cvd à double tube conçu pour le revêtement de films minces sur la feuille métallique, en particulier pour préparer l'électrode flexible sur feuille métallique sur la recherche énergétique de nouvelle génération. chauffage rapide et le refroidissement peut être obtenu en faisant coulisser le four. veuillez vous référer aux opérations section d'instructions pour voir les opérations du four:

  • un tube double quartz: 100 mm de diamètre. tube extérieur et suspendu par 80      mm dia. tube intérieur. feuille métallique (croissance du graphène      substrat) sera enroulé autour de la surface intérieure du tube pour      réaction cvd.
  • brides scellées sous vide      pour le tube double, qui permettent aux gaz réactifs de s'écouler entre deux tubes (      10 mm d'espace) et un flux de gaz inerte à l'intérieur du tube pour le refroidissement.
  • 4 canaux de gaz      contrôlé par 4 mfcs numériques séparés
  • la pompe à vide est      inclus avec adaptateur kf25 et tuyau pour plug and play
  • rail coulissant est      installé au bas du four à zone unique, ce qui permet une      chauffage ou refroidissement par coulissement du four d'un côté à l'autre.
  • une diapositive s'arrêtant      une pince est incluse pour maintenir la position du four.

la zone de chauffage et le système de vide sont sélectionnables: chauffage simple ou double zone; Pompe à vide sèche sans huile à grande vitesse - VBS-M1 ou à deux étages pompe mécanique - vbs-acp15.

Caractéristiques:

structure du four

zone de chauffage unique

  • isolation al2o3 haute pureté        chambre garantit une excellente uniformité de la température.
  • les ventilateurs de refroidissement sont installés à        le bas du four pour assurer une ventilation efficace.
  • l'ensemble de bride coulissante est fait        en acier inoxydable.
  • tube de quartz double: 100 mm        dia. tube extérieur et suspendu de 80 mm de diamètre. intérieur        tube. feuille métallique (graphène        substrat de croissance) sera enroulé autour de la surface intérieure du tube pour        réaction de cvd
  • longueur de la zone de chauffage: 440 mm
    longueur de la zone de chauffage à température constante: 120 (± 1 ° c) @ 400 ~ 1100 ° c

double zone de chauffage

  • isolation al2o3 haute pureté        la chambre assure une excellente uniformité de la température.
  • des ventilateurs de refroidissement sont installés        fond du four pour assurer une ventilation efficace.
  • max. température: 1200 ° c et        température continue: 1100 ° c.
  • deux zones de chauffage contrôlées        séparément:

rails coulissants à double sens pour assurer   le four se déplace en douceur.

  • 200 mm        longueur pour chaque zone de chauffage, longueur totale de chauffage de 400 mm
  • 250 mm        zone à température constante si les deux zones chauffent à la même température
  • 500oc max        différence de température si placer un bloc thermique entre deux zones

Puissance

zone de chauffage unique
puissance: 208-240vac, 50 / 60hz, monophasé, 2,5kw (disjoncteur 20a   obligatoire)

double zone de chauffage
Puissance:   208-240vac, 50 / 60hz, monophasé, 4 kw (disjoncteur 50a   obligatoire)
dix   pieds câble d'alimentation sans prise de courant (demandez à   électricien agréé pour faire la prise)

température de chauffage

  • max. température: 1100 ° c
  • température continue: 1000 ° c

chauffage & amp; refroidissement   taux

max. chauffage et refroidissement   les taux dépendent de la température de travail. veuillez cliquer sur les tableaux ci-dessous pour   voir le max. chauffage & amp; la vitesse de refroidissement varie à différentes températures   intervalle.
(vous devez étalonner la température et la vitesse de refroidissement du chauffage à votre travail   état avant utilisation)
parcelle de chauffage parcelle de refroidissement

tubes de quartz fondu

  • tube de quartz de haute pureté:

deux paires de brides scellées sous vide avec   vestes de refroidissement à eau et vannes à pointeau en acier inoxydable

  • tube extérieur eq-qztube-101d-1400 : od: 4 "x id:        3,8 "x 55" de longueur (od 100 x id 96 x 1400 mm)
  • à l'intérieur        tube eq-qztube-80d-1800: od: 3.15: x id x 2.95 "x 70.8"        longueur (od 80 x id 75 x 1800 mm


brides à vide

en utilisant un double tube pour induire la croissance du cvd sur feuille de métal (enroulé autour   surface du tube intérieur):

  • 1-1. ci-dessous, une paire de        brides ss304 pour sceller à la fois le tube extérieur et l'espace entre        le tube extérieur et l'intérieur du tube (cet espace est considéré comme un        chambre de réaction).
    • bride côté gauche: raccord cannelé         avec robinet à pointeau comme entrée de gaz, une jauge à vide numérique avec une plage de mesure de 10 ^ -4 à         1000 torr ,         entrée / sortie de refroidissement par eau incluse
    • bride côté droit: angle droit         Vanne avec raccord à bride KF25, une vanne à pointeau à dépression, eau         entrée / sortie de refroidissement incluse

  • 1-2.        laissez les deux extrémités du tube intérieur ouvertes pour le refroidissement du gaz.

vide ultime   pression: 10 ^ -2 torr (par pompe mécanique)
10 ^ -5 torr (par pompe turbo moléculaire)


Contrôleur de température

  • contrôle automatique pid avec        30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffe,        taux de refroidissement et temps de séjour.
  • alarme de surchauffe intégrée        et la protection permet un fonctionnement sans accompagnateur.
  • plus de        la protection de la température et l'alarme permettent        opération sans accompagnateur (s).
  • Précision de la température de +/- 1 ºc.
  • port de communication rs485.
    • température avancée         contrôle (optionnel)
    • température mts02-y         kit logiciel de contrôle (pour les contrôleurs de la série yd518p) + ordinateur portable 15 "         package est disponible dans la barre d'options. vous pouvez mettre à niveau le         régulateur de température au eurotherm         Contrôleur de température 3504 qui est entièrement compatible avec         labview. ce package comprend un programmateur eurotherm 3504, un         câble de communication (rs485 - usb) et un logiciel cd. cliquez sur la photo         ci-dessous pour voir la spécification complète du contrôleur de température eurotherm 3504.


débitmètres massiques & amp; station de mélange de gaz

  • Débit massique de précision 4        contrôleur (mfc) avec affichage numérique et bouton de réglage sont        installé sur le boîtier inférieur gauche pour contrôler le débit de gaz:
  • 4 canaux gaz (contacter mti        ventes si besoin de plus)
    • mfc         1: plage de contrôle de 0 à 100 sccm
    • mfc         2: plage de contrôle de 0 ~ 200 sccm
    • mfc         3: plage de contrôle de 0 ~ 200 sccm
    • mfc         4: plage de contrôle de 0 à 500 sccm
  • précision du débit: ± 1%        fs
  • entrée et sortie de gaz: 1/4 "        connecteur de tube swagelok
  • un réservoir de mélange de gaz de 80 ml est        installé dans le boîtier inférieur
  • chaque canal de gaz a un        Robinet à pointeau en acier inoxydable pour une mise en marche / arrêt facile
  • le débit est réglable        depuis le panneau mfc

station de pompe à vide et   soupapes

facultatif 1:

  • pfeiffer        pompe à vide sèche sans huile à haute vitesse (226 l / min), limite 10e-3 torr est        installé à l'intérieur d'un chariot mobile robuste. veuillez cliquer sur l'image        ci-dessous pour plus de détails.
  • kfd25        adaptateur et inoxydable        tuyaux en acier sont        connecté entre la pompe et la bride du tube avec une précision Balle        soupape .
  • Le vide 10e-2 torr peut être        réalisé à l'intérieur du tube de traitement
  • numérique        jauge à vide (fait        aux USA) est installé sur le flasque gauche.
  • (en option) pour un vide plus élevé        niveau à 10 ^ -5 torr, veuillez commander ci-dessous mobile turbo        pompe .

facultatif 2:

  • la girouette rotative robuste        pompe à vide avec filtre d'échappement et amp; entrée kf-d25 est installé        à l'intérieur d'un chariot mobile robuste. veuillez cliquer sur l'image ci-dessous pour plus        détails.
  • 6.7x10 -4 mbar        le vide peut être atteint à l'intérieur du tube de traitement
  • numérique        jauge à vide (fait        aux USA) est installé sur le flasque gauche. veuillez cliquer sur le        deuxième photo ci-dessous pour plus de détails
  • pour un niveau de vide plus élevé        10 ^ -5 torr, veuillez commander ci-dessous mobile turbopompe à un coût supplémentaire:

fonction de refroidissement par eau

le refroidissement par eau sur la bride sert principalement à refroidir le joint torique   à l'intérieur de la bride pour assurer la chambre la mieux scellée à haute température:

  • les brides de refroidissement par eau nécessitent        & gt; = 10l / m de débit d'eau.
  • vous pouvez utiliser l'eau du robinet comme        liquide de refroidissement, mais nous vous suggérons fortement d'utiliser une eau de recirculation        refroidisseur pour des considérations environnementales. veuillez cliquer sur le pouce ci-dessous pour        commandez le refroidisseur d'eau à un coût supplémentaire.

pièces optionnelles (bâtiment   un four à tube unique)

vous pouvez construire un 80 mm   dia. chambre de réaction à tube unique en commandant des brides d'étanchéité supplémentaires et   installez-les sur le tube intérieur:

  • bride côté gauche: raccord cannelé        avec robinet à pointeau comme entrée de gaz et raccord de passage 1/4 '' pour        client pour insérer un capteur de mesure
  • bride côté droit: raccord kf25        avec jauge mécanique et soupape de décharge de vide

dimension

  • four: 550 x        380 x 520 mm
  • boîtier mobile inférieur x 2: 600 x        600 x 600 mm (un pour la station de mélange de gaz et l'autre pour la pompe à vide)

livraison

  • poids à l'expédition: ~ 800 lb
  • expédition par fret avec trois        palettes
  • des frais de mise en caisse seront appliqués

garantie

un an limité   garantie du fabricant (pièces consommables telles que tubes de traitement, joints toriques,   et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez   commander des remplacements pour les produits connexes ci-dessous).

ordinateur portable, logiciel et amp;   contrôle wifi (en option)

  • tout nouvel ordinateur portable avec microsoft        Windows 10 et Microsoft Office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate        utilisation.
  • température basée sur labview        Système de contrôle permet à l'utilisateur de modifier        profil de température, gérer la recette de traitement thermique, enregistrer et tracer les données        pour fours mti.
  • une télécommande sans fil        fournit jusqu'à 300 mètres de plage de fonctionnement.
  • les fonctionnalités ci-dessus sont disponibles        sur demande à un coût supplémentaire (jusqu'à 1 000 $). S'il vous plaît contactez-nous pour plus        information.

· Remarque:
le logiciel est uniquement compatible avec la température yudienne de mti   manette

conformité

  • ce        agréé
  • tout        les composants électriques (& gt; 24v) sont certifiés ul / met / csa
  • le        le four est prêt à passer la certification tuv (ul61010) ou csa à        frais supplémentaires.

Notes d'application

  • les fours tubulaires à tubes de quartz sont conçus        pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,2 bars / 3 psi /        0,02 mpa
  • attention : une        un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz        limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement sûr.
  • le flux        le taux de gaz doit être limité à & lt; 200 sccm (ou 200        ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube
  • définition de la limite de vide pour tous les tubes en quartz        fours: * les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° c
  • cliquez ici pour        apprendre comment installer        tube de quartz / céramique et bride à vide pour four tubulaire mti .
  • une diapositive        une pince d'arrêt est incluse pour maintenir la position du four.

  • après        cvd, le graphène doit être transféré du catalyseur métallique à un autre        substrat pour la plupart des applications. en utilisant le graphène        transfert de bande, le résidu peut être faible.

avertissement

  • échantillon rapide        le refroidissement peut être obtenu en faisant coulisser la chambre de chauffage. veuillez porter        engrenages de protection tels que combinaison et amp; résistant à la chaleur; des gants si vous avez l'intention        faire cela.
  • ne touchez pas le        surface du tube quand il fait chaud!

CVD Sliding Furnace


1. nous fournissons des machines avec prise en charge de la technologie de la batterie.

2. nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la ligne de production e.


 Vacuum Tube Furnace


1 emballage standard exporté: protection anti-collision interne, emballage en bois pour exportation externe.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie des dommages pour vous gratuitement.