1200ºC Max. Deux four PECVD Tube à Zone (facultatif Tube Dia) avec Auto-coulissantes

TMAX-DSP-1200PECVD est qu'un bi-zone coulissant PE-CVD tube four système se compose de la source de plasma RF, avec la taille du tube et un rail coulissant intégré, le débitmètre massique de précision avec réservoir et une pompe à vide sans huile qualité de mélange de gaz. telle une fournaise de PE-CVD est un nouvel outil pour cultiver des nanofils ou graphène avec les avantages suivants :
1. traitement de température inférieure par rapport aux maladies cardiovasculaires classiques.

2. élevée de chauffage et de refroidissement taux moyen four coulissant.

3. 1200ºC Max. température de fonctionnement.

4. propose une large gamme de dépôts de matière, comme carbone & ZnO nanofils (ou tube) et graphème simple couche.

spécifications :

Dispose de

modèle	DSP-1200 ℃ - PECVD-je	DSP-1200 ℃ - PECVD-II	DSP-1200 ℃ - PECVD-III	DSP-1200 ℃ - PECVD-IV
Power	3 KW	3 KW	4 KW	4 KW
Tube taille	Dia 60(OD) X1800mm	Dia 80(OD) X1800mm	Dia 100(OD) X1800mm	Dia120 (OD) X1800mm
produit Dimensions (mm)	1800 x 410 x 610	1800 x 410 x 610	1800 x 460 x 660	1800 x 460 x 660
	1. temp de deux précision programmables. contrôleurs de 30 segments. 2. deux séparément chauffage Zones : 200mm de longueur pour chacun zone 400mm total en chauffage de chauffage 250mm constante de longueur centrale température chauffage région si les deux zones ont été chauffés en même température
Structures de four	1. Split tube four avec coulissant rail 2. Max 1150ºC pour chauffage continu 3. multi-programmable précision numérique régulateurs de température avec 30 segments. 4. puissance d’entrée : 208-240V AC input, single phase à max. 4kW
Plasma RF Power Supply	1. puissance de sortie : 5 - 500W réglable avec stabilité de ± 1 %. 2. RF fréquence : 13,56 MHz ±0, 005 % stabilité. 3. réflexion puissance : 10W Max. 4. correspondants : automatique 5. sortie RF Port : 50 Ω, type N, les femmes 6. bruit : < 30 dB. 7. de refroidissement : Refroidissement par air. 8. puissance : 208-240 v c.a., monophasé, 50 / 60Hz
Traitement anticorrosif pression	de calibre 1. 3.8x10 -5 à 1125 Torr gamme de mesure 2. Traitement anticorrosif,-type de gaz indépendant 3. haute précision et reproductibilité à ambiance pour la détection de la pression atmosphérique fiable 4. Fast détection atmosphérique élimine le temps d’attente et raccourcit le cycle de processus 5. facile à échanger plug & play capteur élément
pompe à vide Station et Vannes	1. Haute vitesse de Pfeiffer (120L/min) sans huile Pompe à vide sèche, 10E-3 Torr limite est installé à l’intérieur le heavy duty chariot mobile 2. KF25 adaptateur et tuyaux en acier inoxydable sont connecté entre la pompe et tube bride avec robinet à boisseau sphérique pour la fiche du client et jouer 3. 10F-2 Torr vide peut être atteint à l’intérieur de la transformation de tube
masse débitmètres & Gas Station de mixage	il est installé dans un chariot mobile robuste où le four du tube peut être placé sur le dessus. écran LCD tactile est intégré pour fournir un contrôle aisé sur le débit de gaz taux de chaque chaîne indépendante. 1. température de fonctionnement : 5 ~ 45 ° c 2. Max. Pression : 3 x 10 6 Pa 3. précision : ±1. 5 % FS 4. Liner : ±(0.5-1.5) % F.S. 5. double précision : ±0.2%F.S. 6. contrôle Gamme : 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM ou 1,2,3,5, 10SLM.
chauffage & refroidissement Tarifs	port RS485 et logiciels sont installés et laisser la température de la télécommande Profil de PC. pour atteindre Taux de max.Heating, l’utilisateur doit Préchauffer le four à désiré température, puis faire glisser le fourneau à la zone de l’échantillon de le de tube pour atteindre le Max. taux de refroidissement, déplacer le four chauffé de zone chaude à froid zone chauffage taux : 15° C/s (RT - 150 ° C). 10° C/s (150° C - 250° C) ; 7° C/s (250° C -350 ° C) ; 4° C/sec (350° C -500 ° C) ; 3° C/sec (350° C -550 ° C) ; 2° C/s (550° C -650 ° C) ; 1° C/s (650° C -800 ° C) ; 0,5 ° C/s (800° C À 1000° C) ; refroidissement taux : 15° C/s (1000-950° C) ; 10° C/s (950° C ET 900° C) ; 7° C/s (900° C - 850° C) ; 4° C/s (850° C À 750° C) ; 2° C/s (750° C ET 600° C) ; 1,5 ° C/s (600° C ET 500° C) ; 1° C/s (500° C ET 400° C) ; 0,5 ° C/s (400° C - 300° C) ;
garantie	garantie à vie limitée d’un an prise en charge.
Notes d’Application	Tube fours avec tubes quartz sont conçu pour l’utilisation sous vide et à basse pression < 0,12 MPa (absolu pression). Attention : A régulateur de pression de deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr. la vitesse d’écoulement pour le gaz devrait être limitée à 200 < SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire chocs thermiques dans le tube. limite de vide définition pour tous les fours de tube de quartz : * pression de vide ne peut être utilisé en toute sécurité jusqu'à 1000° C. d’exploitation Système PECVD avec taille de tube supérieure à 4", s’il vous plaît gardez toujours plus de distance de 1 mètre de la source de plasma après que le générateur de plasma commence travail.

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1. nous fournissons des machines avec le soutien de la technologie de batterie.

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1 Standard exporté package : protection anticollision interne, externe l’emballage de boîte en bois d’exportation.

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3 responsable pour les dommages durant le processus d’expédition, va changer la partie dommages pour vous gratuit.