PECVD rotatif Tube four (60 mm OD) avec chauffage seul la Zone à 1200 ° C Max.

TMAX-DSP-1200PECVD-XZ s est trois zone 1200ºC PE-CVD tube four système se compose de 500W source de plasma RF, fourneau de tube avec un chaîne intégrée précision débitmètre massique avec réservoir de mélange de gaz et un four de grande qualité sans huile pompe à vide. telle une PE-CVD est un nouvel outil pour se développer les nanofils ou graphène ou SiC revêtement.

Spécifications :

Dispose de

Power	3,5 KW
Tube taille	Dia 60(OD) X1200mm
produit Dimensions (mm)	1300 x 420 x 1200
Tube tournant vitesse	0 - 25 tr/min variable
four tilt angle	-10-30 °
	1. temp de deux précision programmables. contrôleurs de 30 segments. 2. Chauffage contrôlé séparément deux -- Zones : 200mm de longueur pour chacun zone 400mm total en chauffage de chauffage 250mm constante de longueur centrale température chauffage région si les deux zones ont été chauffés en même température
Structures de four	1. Split tube four avec coulissant rail 2. Max 1150ºC pour chauffage continu 3. multi-programmable précision numérique régulateurs de température avec 30 segments. 4. puissance d’entrée : 208-240V AC input, single phase à max. 4kW
Plasma RF Power Supply	1. puissance de sortie : 5 - 500W réglable avec stabilité de ± 1 %. 2. RF fréquence : 13,56 MHz ±0, 005 % stabilité. 3. réflexion puissance : 10W Max. 4. correspondants : automatique 5. sortie RF Port : 50 Ω, type N, les femmes 6. bruit : < 30 dB. 7. de refroidissement : Refroidissement par air. 8. puissance : 208-240 v c.a., monophasé, 50 / 60Hz
Traitement anticorrosif pression	de calibre 1. 3.8x10 -5 à 1125 Torr gamme de mesure 2. Traitement anticorrosif,-type de gaz indépendant 3. haute précision et reproductibilité à ambiance pour la détection de la pression atmosphérique fiable 4. Fast détection atmosphérique élimine le temps d’attente et raccourcit le cycle de processus 5. facile à échanger plug & play capteur élément
pompe à vide Station et Vannes	1. Haute vitesse de Pfeiffer (120L/min) sans huile Pompe à vide sèche, 10E-3 Torr limite est installé à l’intérieur le heavy duty chariot mobile 2. KF25 adaptateur et tuyaux en acier inoxydable sont connecté entre la pompe et tube bride avec robinet à boisseau sphérique pour la fiche du client et jouer 3. 10F-2 Torr vide peut être atteint à l’intérieur de la transformation de tube
masse débitmètres & Gas Station de mixage	il est installé dans un chariot mobile robuste où le four du tube peut être placé sur le dessus. écran LCD tactile est intégré pour fournir un contrôle aisé sur le débit de gaz taux de chaque chaîne indépendante. 1. température de fonctionnement : 5 ~ 45 ° c 2. Max. Pression : 3 x 10 6 Pa 3. précision : ±1. 5 % FS 4. Liner : ±(0.5-1.5) % F.S. 5. double précision : ±0.2%F.S. 6. contrôle Gamme : 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM ou 1,2,3,5, 10SLM.
chauffage & refroidissement Tarifs	port RS485 et logiciels sont installés et laisser la température de la télécommande Profil de PC. pour atteindre Taux de max.Heating, l’utilisateur doit Préchauffer le four à désiré température, puis faire glisser le fourneau à la zone d’échantillon de la tube pour atteindre le Max. taux de refroidissement, déplacer le four chauffé de zone chaude à froid zone chauffage taux : 15° C/s (RT - 150 ° C). 10° C/s (150° C - 250° C) ; 7° C/s (250° C -350 ° C) ; 4° C/sec (350° C -500 ° C) ; 3° C/sec (350° C -550 ° C) ; 2° C/s (550° C -650 ° C) ; 1° C/s (650° C -800 ° C) ; 0,5 ° C/s (800° C À 1000° C) ; refroidissement taux : 15° C/s (1000-950° C) ; 10° C/s (950° C ET 900° C) ; 7° C/s (900° C - 850° C) ; 4° C/s (850° C À 750° C) ; 2° C/s (750° C ET 600° C) ; 1,5 ° C/s (600° C ET 500° C) ; 1° C/s (500° C ET 400° C) ; 0,5 ° C/s (400° C - 300° C) ;
garantie	garantie à vie limitée d’un an prise en charge.
Notes d’Application	Tube fourneaux avec tubes quartz sont conçu pour l’utilisation sous vide et à basse pression < 0,12 MPa (absolu pression). Attention : A régulateur de pression de deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr. la vitesse d’écoulement pour le gaz devrait être limitée à 200 < SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire chocs thermiques dans le tube. limite de vide définition pour tous les fours de tube de quartz : * pression de vide ne peut être utilisé en toute sécurité jusqu'à 1000° C. d’exploitation Système PECVD avec taille de tube supérieure à 4", s’il vous plaît gardez toujours plus de distance de 1 mètre de la source de plasma après que le générateur de plasma commence travail.

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1. nous fournissons des machines avec le soutien de la technologie de batterie.

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1 Standard exporté package : protection anticollision interne, externe l’emballage de boîte en bois d’exportation.

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