Machine de revêtement par évaporation thermique à température contrôlée de précision

GSL-1700X-SPC-2 est une coucheuse à évaporation thermique compacte avec contrôle de température précis et programmable, qui convient au revêtement de la plupart des films de matériaux métalliques et organiques jusqu'à 2" de 200 ºC à 1500 ºC (ou 200 ºC - 1700 ºC avec un thermocouple de type B en option). Un porte-échantillon rotatif est intégré pour permettre un revêtement de film uniforme.

CARACTÉRISTIQUES:

Structure & amp; Fonctionnalités	Chambre en quartz de 6" OD x 10"H pour un nettoyage et un chargement d'échantillon faciles Porte-échantillon rotatif de 2 "de diamètre pour un revêtement de film uniforme Serpentin chauffant en tungstène et creuset en alumine pour revêtement à haute température jusqu'à 1700 ºC Contrôle de température de précision avec 30 segments programmables et précision de +/- 1 ºC Un vide poussé peut être atteint jusqu'à 1,0E-5 Torr via une turbopompe en option L'orifice de débit de gaz et la vanne sont intégrés pour la purge de la chambre et la possibilité de CVD
La puissance d'entrée	Tension d'entrée : 208 - 240 VAC 50/60 Hz, monophasé Puissance d'entrée : 500 W Puissance de sortie : 40 A max courant. Courant de travail recommandé <20 A Câble d'alimentation inclus sans la prise
Contrôle de la température et amp; Radiateurs	Un serpentin chauffant en tungstène avec un thermocouple est intégré au fond du creuset en alumine (pour le contrôle de la température (PIC. 1). Veuillez vous référer à l'image de gauche pour les dimensions Thermocouple type S standard (inclus et installé) - chauffage de 200 ºC à 1500 ºC (PIC. 2) Thermocouple de type B en option (moyennant supplément) - chauffage de 1200 ºC à 1700 ºC Un contrôleur de température numérique avec 30 segments programmables et une précision de +/- 1 ºC (PIC. 3) Les paramètres de temps du contrôleur de température sont en secondes. Il est recommandé de limiter la vitesse de chauffage/refroidissement à 0,3 ºC/s (ou 20 ºC/min) en dessous de 1200 ºC, et de limiter à 0,15 ºC/s (ou 10 ºC/min) de 1200 à 1700 ºC Pour un chauffage continu au-dessus de 1300 ºC, veuillez limiter le temps de fonctionnement à moins de 1 heure pour préserver la durée de vie du joint torique de la bride inférieure Pour un revêtement rapide jusqu'à 2 000 °C, tel que nécessaire dans le revêtement au carbone, l'utilisateur peut retirer le thermocouple, le bloc thermique en alumine et le creuset en alumine, charger le matériau d'évaporation directement dans le réchauffeur à serpentin de tungstène et utiliser le mode de contrôle manuel actuel (PHOTO. 4 ) Quatre creusets en alumine (jusqu'à 1700 ºC) et deux réchauffeurs à serpentin en tungstène sont inclus. Veuillez vous référer à la section Option pour commander des pièces de rechange
Porte-échantillon	Un diamètre de 50 mm. la platine d'échantillonnage rotative et son obturateur sont installés sur la bride supérieure. Vitesse de rotation : 5 tr/min La distance entre le porte-échantillon et la source d'évaporation est réglable de 40 mm à 85 mm
Moniteur d'épaisseur de film (en option)	Capteur d'épaisseur à quartz de précision est facultatif. Il peut être intégré à la chambre pour fournir une surveillance instantanée de l'épaisseur du film avec une précision de 0,10 Å. L'unité d'affichage LED à l'extérieur de la chambre peut : · Entrez les informations sur le matériau de revêtement en fonction de la base de données incluse Affichage de l'épaisseur totale du revêtement et de la vitesse de revêtement Précision Film mince & amp; Systèmes d'analyse de revêtement - EQ-TFMS-LD est disponible moyennant des frais supplémentaires
Vide	Le port de vide KF25 est installé pour se connecter à une pompe à vide Le vide le plus élevé peut atteindre &lt;4.0E-6 Torr en pompant pendant la nuit avec une pompe turbomoléculaire en option Une pompe à vide est nécessaire pour le revêtement. Veuillez choisir parmi les options de produit suivantes Pas de pompe à vide. Jauge de diaphragme de capacité anti-corrosion est inclus pour le vide jusqu'à 1.0E-6 Torr Pompe à vide à palettes rotatives à double étage avec piège à vapeur pour éliminer le brouillard d'huile, qui peut atteindre un vide jusqu'à 1,0E-2 Torr pour l'évaporation de matériaux métalliques nobles, tels que l'or, l'argent et les matériaux organiques.
Entrée de gaz	Le raccord de tube 1/4 est intégré pour la purge de la chambre ou le traitement du gaz de formage Une vanne à pointeau est intégrée pour contrôler le débit de gaz
Optionnel	En plus creuset en alumine et réchauffeur de bobine de tungstène peut être commandé chez TMAX moyennant un supplément Au total, 4 creusets sources d'évaporation pourraient être utilisés pour déposer plusieurs matériaux différents afin de développer des multicouches une par une dans la même atmosphère de chambre.
Dimension globale
Dimension de la chambre à quartz	Diamètre extérieur : 165 mm Diamètre intérieur : 150 mm Longueur : 250 mm
Conformité	Certificat CE
garantie	Garantie limitée d'un an avec assistance à vie
Poids net	50 kilogrammes
Poids d'expédition &amp; Dimensions	130 lb, 40" x 30" x 32"
Notes d'application	Pour obtenir le vide poussé requis pour l'évaporation de certains matériaux, l'utilisateur peut Vérifiez la chambre, le joint torique et la bride pour détecter toute particule, fibre ou rayure. Utilisez un chiffon non pelucheux imbibé d'alcool isopropylique (IPA) pour essuyer la surface Utilisez du ruban chauffant pour cuire la chambre à 150 ºC et préchauffez le serpentin chauffant et le creuset à 500 ºC tout en pompant avec la pompe turbo en option pendant au moins 2 heures Pomper la chambre pendant la nuit sans chauffer si un vide supérieur à 1,0E-5 Torr est nécessaire La coucheuse peut être placée dans une boîte à gants à gaz Ar ou N2 pour l'évaporation thermique de l'humilité &amp; matériaux sensibles à l'oxygène, tels que Li métal. NE démarrez PAS le programme de chauffage ou n'augmentez pas manuellement le courant sans une chambre fermée et un vide ! NE relâchez PAS le vide ou n'arrêtez pas de pomper lorsque l'enrobeur est en mode d'évaporation ! Pendant le refroidissement du réchauffeur, arrêtez de pomper ou libérez le vide UNIQUEMENT lorsque la température est descendue en dessous de 100 ºC !