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Système de contrôle de débitmètre massique programmable Système MFS
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pompe moléculaire
Système de contrôle de débitmètre massique programmable Système MFS
1. Le gaz s'écoule hors de la bouteille, à travers la soupape de réduction de pression, à travers le tuyau en téflon jusqu'à l'entrée du système d'alimentation en gaz, puis à travers le débitmètre à protons pour contrôler le débit de gaz, puis à travers le réservoir de mélange d'air, puis dans l'entrée d'air du four. Le gaz s'écoule du tuyau de sortie d'air, à travers la vanne à trois voies, une extrémité est connectée à la pompe à vide et l'autre extrémité est connectée à la sortie d'air.
2. Le réservoir de mélange d'air est connecté à un manomètre, et le panneau d'affichage du manomètre et le débitmètre à protons sont installés sur le même panneau.
3. Chaque gazoduc est équipé d'une vanne d'arrêt haute pression pour assurer la sécurité.
4. Le chemin de gaz adopte un rotamètre à gaz de haute précision et le chemin de gaz interne adopte un tube en téflon, qui a une bonne résistance à la corrosion.
5. Tous les joints sont reliés par une virole, avec une bonne étanchéité à l'air et une résistance à haute pression.
6. Composition de l'équipement : canalisation d'admission d'air multicanal, débitmètre à protons, réservoir de mélange d'air et canalisation de sortie d'air
Caractéristiques
1. Plusieurs canaux d'admission d'air sont personnalisés par les clients, interface standard, connexion pratique
2. L'écran tactile à cristaux liquides contrôle et entre le débit de gaz de chaque canal et affiche la courbe de débit de gaz de chaque canal en temps réel
3. Chaque chemin de gaz est équipé d'une vanne d'arrêt haute pression, ce qui est pratique pour couper le chemin de gaz
Caractéristiques
Chemin de gaz /canal |
2/3/4/5/6/7/8/9/10 sélectionnable |
Type de gaz |
Choisissez par client |
Gamme débitmètre |
5—500SCCM;1—10SLM sélectionnable |
Tension de travail |
220v/50Hz |
Différence de pression de travail |
0.1-0.5MPa |
Pression maximale |
3MPa |
Précision |
±1,5 % P.E. |
Linéaire |
±0.5~1.5% F.S |
Temps correspondant du débitmètre à protons |
<1S |
plage de mesure |
0.1-0.15MPa |
Cuve de mélange |
SS 30 4 |
Entrée et sortie d'air |
φ 6mm Interface virole en acier inoxydable |
Matériau du tuyau |
Un tuyau en acier inoxydable de 6 mm de diamètre est utilisé pour le tuyau interne; Un tuyau en téflon de 6 mm est utilisé pour le tuyau externe |
Système de contrôle |
Système de contrôle PLC, entrée d'écran tactile LCD, contrôle indépendant de chaque chemin de gaz |