Four CSS à deux zones avec porte-plaquettes rotatif jusqu'à 5x5" à max.800°C - OTF-1200X-RTP-II-5-R

OTF-1200X-RTP-II-5-R est un four de traitement thermique rapide avancé avec une chambre en quartz de 11" de diamètre intérieur et un porte-échantillon rotatif de 5"x5". Il est conçu pour le revêtement de film CSS jusqu'à 5" d'échantillons de plaquettes circulaires ou carrées à une température de travail de 800°C max. Le four est chauffé séparément par deux groupes de radiateurs halogènes (haut et bas) avec max. dix º C/s taux de chauffage. Le porte-échantillon supérieur est rotatif pour obtenir un revêtement de haute uniformité. C'est un excellent outil pour rechercher des couches minces de nouvelle génération pour les cellules solaires, telles que CdTe, sulfure et P cellule solaire erovskite.

CARACTÉRISTIQUES:

Structure du four	Four, deux régulateurs de température, débitmètres de gaz à deux voies sont intégrés dans un châssis mobile en alliage d'aluminium. La chambre est constituée d'un tube de quartz fondu de haute pureté avec une dimension de 11" OD/10.8" ID x 9" H. Les brides de vide sont en acier inoxydable 316 et levées par moteur électrique. Deux plaques chauffantes IR de 5 "x5" et l'espacement sont réglables. Le porte-échantillon supérieur est rotatif à la vitesse de 0 à 7 tr/min.
Brides à vide	La bride supérieure avec un orifice d'aspiration KFD-25 et une sortie de gaz (tuyau 1/4" requis) peut coulisser manuellement vers le haut ou vers le bas pour charger et décharger facilement le substrat et le matériau évaporé. La bride inférieure a un orifice d'aspiration KFD-25 avec une entrée de gaz (tuyau 1/4" requis) avec vannes à pointeau. La bride est scellée par des joints toriques doubles en silicone et peut atteindre max. la pression du vide de 10E-2 Torr par une qualité pompe mécanique et 10E-5 Torr par une pompe moléculaire (la pompe à vide n'est pas incluse, veuillez la commander séparément). Un vacuomètre numérique est installé sur la bride supérieure. La jauge à vide numérique anti-corrosion de précision est dans un emballage standard (Depuis le 24/03/2016) .
Réchauffeur et porte-échantillon	Deux radiateurs à commande indépendante avec écart réglable manuellement de 2 à 30 mm. 20 lampes halogènes sont utilisées comme élément chauffant pour un traitement thermique rapide. Les réchauffeurs sont fabriqués en acier inoxydable avec une chemise d'eau froide pour réduire le rayonnement thermique et sont capables d'un refroidissement rapide. 5" Dia. Le porte-wafer circulaire est intégré dans le radiateur supérieur pour maintenir le substrat. Un ensemble de plaques AlN à haute conductivité thermique (5 "de diamètre x 0,5 mm d'épaisseur) est inclus (placez-le à l'arrière du substrat pour le faire chauffer uniformément). Un refroidisseur d'eau à circulation de 58L/min est inclus pour économiser la source d'eau (cliquez sur l'image ci-dessous pour voir les spécifications détaillées). Le porte-échantillon supérieur est rotatif à une vitesse réglable de 0 à 7 tr/min
Contrôleur de température	Deux contrôleurs de température numériques de précision avec 30 segments programmables offrent un contrôle indépendant des éléments chauffants supérieur et inférieur. Chaque contrôleur dispose d'une fonction d'autoréglage PID pour protéger les éléments chauffants contre les dépassements et d'une fonction d'alarme pour empêcher la surchauffe d'endommager les couples thermiques. Interface de communication PC & le logiciel est installé pour (cliquez sur l'image ci-dessous pour plus de détails) enregistrer le profil de température indiqué ci-dessous.
Température de fonctionnement	Température maximale pour chaque élément chauffant : ≤ 800ºC. Différence de température maximale entre deux radiateurs : ≤ 300ºC dépend de l'espacement entre deux radiateurs : Espacement 30 mm max. différence de température : 315 ºC @ sole chauffante uniquement
Chauffage & Taux de refroidissement	Chauffage : < 8ºC/s (chauffage simple chauffage uniquement) Refroidissement : < 10ºC/s (600 - 100ºC) Max.
Couple Thermique	Deux couples thermiques de type K sont installés séparément sur les radiateurs supérieur et inférieur.
Tension de travail	208 - 240VAC, monophasé, 50A disjoncteur d'air
Puissance requise	10 KW au total
Dimensions	(cliquez sur la photo pour voir la dimension)
Poids d'expédition & Dimension	Deux palettes : 525 lbs et 48" x 40" x 87" et 165 lb avec dimension 39x31x29"
Optionnel	Une pompe à vide est nécessaire. Veuillez commander séparément en cliquant sur la première image à partir de la gauche ci-dessous. Le niveau de vide peut atteindre ≤ 10E-2 torr par pompe mécanique. Si vous utilisez un gaz corrosif, veuillez utiliser un piège à froid ou une pompe à sec anticorrosion comme indiqué sur l'image 2-3 moyennant des frais supplémentaires. Vous pouvez choisir le système de distribution de gaz numérique MFC en cliquant sur la première image en bas à droite.
garantie	Un an limité avec assistance à vie (les pièces consommables telles que le tube de quartz et les lampes chauffantes ne sont pas couvertes par la garantie).
Notes d'application & Avertissements	Les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C. Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques au tube. UN attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr. Le pied de cette fournaise est conçu pour le transport sur de courtes distances sur une surface plane (sans fosses ni bosses) uniquement.