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PECVD Furnace

Four à pecvd vertical de 1200 ° C avec générateur RF, mélange de gaz et système de pompage

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
  • Paiement:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
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Détails du produit

Fournaise verticale à 1200 ° C avec générateur RF, mélange de gaz et amp; système de pompage

tmax-1200-pecvd série chimique dépôt en phase vapeur (cvd) et dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (pecvd) les fours à tubes fendus multizones présentent le célèbre kanthal ® (Suède) fil éléments chauffants intégrés de haute qualité Mitsubishi ® (Japon) alumine isolation en fibres. le boîtier en acier à double couche assure la durabilité et aide minimiser les pertes de chaleur sur la surface extérieure.


le fonctionnement du four est controlé par shimaden ® (Japon) Contrôleur numérique à 40 segments avec port de communication numérique rs485 intégré et adaptateur USB, permettant à l'utilisateur de se connecter à un PC pour le contrôle à distance et surveillance du four. vous pouvez également enregistrer ou exporter les résultats des tests.
tous nos fours sont ce conforme.

Caractéristiques

· compact, portable et design léger.

· traitement inférieur températures requises comparées aux cvds conventionnels.

· le stress du film peut être contrôlée par des techniques de mélange haute / basse fréquence.

· chambre de four fendue pour accès rapide et facile au tube.

· le forfait standard comprend jeu de brides d'étanchéité sous vide en acier inoxydable avec vannes et manomètre.

· basé sur microprocesseur le contrôle PID à réglage automatique fournit un processus thermique optimal avec un minimum dépasser.

· atmosphère multiple des processus en un seul cycle sont possibles (ex: brûlure du liant dans l'air et les pièces frittage sous vide grossier ou environnement de gaz inerte.)

· ampèremètre intégré et deux voltmètres pour une surveillance et un dépannage faciles.

· ordinateur intégré interface.

· longue durée de vie type k thermocouple.

· option four coulissant vous donne des taux de refroidissement ultra rapides

sécurité

· protection contre la surchauffe se ferme dans le four si la température est en dehors de la plage acceptable (se référer à manuel du contrôleur) ou lorsque le thermocouple est cassé ou fonctionne mal.

· protection contre les coupures de courant reprend le fonctionnement du four juste après le point de défaillance lorsque l'alimentation est coupée rétabli.

avertissement! ne jamais remplir le four d'explosif gaz, y compris l'hydrogène, le monoxyde de carbone et le méthane.


four, pompe à vide et spécifications du système de mélange de gaz

matériau du tube

quartz

élément chauffant

kanthal ® (suède)   fil de bobine de résistance

max. vs constant   températures de travail

1200 ° c max. et   1100 ° c constant

couple thermo   type

k

doublure réfractaire

Mitsubishi ® (Japon)   Alumine de fibre de catégorie 1500

Température   manette

shimaden ® (Japon)   fp93 avec 4 programmes et 40 segments
(c.-à-d. 4 x 10 segments ou 2 x 20 segments)

chauffage maximum   & amp; taux de refroidissement

& lt; 30 ° c / min

Température   précision du contrôleur

+/- 1 ° c (+/-   1,8 ° f)

étanchéité sous vide   kit de bride

acier inoxydable   brides d'étanchéité sous vide avec une jauge à vide,
deux vannes et quatre blocs thermo-céramiques.

électrique   exigences

220vac, 3,5kw,   monophasé

spécifications du générateur RF

électrique   exigences

208-240 volts   50/60 hz

puissance de sortie

5 à 500 watts,   réglable par pas de +/- 1%

fréquence rf

13,56 mhz avec   +/- 0,005% de stabilité

pouvoir de réflexion

10 watts max.

correspondant à

automatique

port de sortie rf

50 Ω, type n,   femelle

refroidissement

air

description de la pièce

quantité

image de la pièce

four à tube fendu

1 jeu

gaz multicanaux   Système d'alimentation

1 jeu

plasma rf power   approvisionnement (facultatif)

1 jeu

pompe à vide et   boîtier (en option)

1 jeu

tube de quartz

1 pc

tube en téflon (n   représente le nombre de tubes)

n * 5

acier inoxydable   brides d'étanchéité sous vide avec manomètre

1 jeu

acier inoxydable   crochet

1 pc

céramique d'alumine   bloc thermique

2 paires

gants thermiques

1 paire

haute température   Al 2 o 3 alumine   creuset

5 pièces

fusible de rechange

2 pièces

ordinateur usb / rs485   kit d'interface

1 jeu

four et   manuel du contrôleur shimaden

2 pièces

PECVD Furnace


1. nous fournissons des machines avec prise en charge de la technologie de la batterie.

2. nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la ligne de production e.


laboratory muffle furnace


1 emballage standard exporté: protection anti-collision interne, emballage en bois pour exportation externe.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie des dommages pour vous gratuitement.