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Four à pecvd vertical de 1200 ° C avec générateur RF, mélange de gaz et système de pompage
Model Number:
TMAX-VerticalPECVDPaiement:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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Système pecvd coulissant double zone 1200 ℃Prochaine:
Fournaise 1200 ° C PE / CDV avec générateur RF, mélange de gaz et système de pompage
Fournaise verticale à 1200 ° C avec générateur RF, mélange de gaz et amp; système de pompage
tmax-1200-pecvd série chimique dépôt en phase vapeur (cvd) et dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (pecvd) les fours à tubes fendus multizones présentent le célèbre kanthal ® (Suède) fil éléments chauffants intégrés de haute qualité Mitsubishi ® (Japon) alumine isolation en fibres. le boîtier en acier à double couche assure la durabilité et aide minimiser les pertes de chaleur sur la surface extérieure.
le fonctionnement du four est controlé par shimaden ® (Japon) Contrôleur numérique à 40 segments avec port de communication numérique rs485 intégré et adaptateur USB, permettant à l'utilisateur de se connecter à un PC pour le contrôle à distance et surveillance du four. vous pouvez également enregistrer ou exporter les résultats des tests.
tous nos fours sont ce conforme.
Caractéristiques
· compact, portable et design léger.
· traitement inférieur températures requises comparées aux cvds conventionnels.
· le stress du film peut être contrôlée par des techniques de mélange haute / basse fréquence.
· chambre de four fendue pour accès rapide et facile au tube.
· le forfait standard comprend jeu de brides d'étanchéité sous vide en acier inoxydable avec vannes et manomètre.
· basé sur microprocesseur le contrôle PID à réglage automatique fournit un processus thermique optimal avec un minimum dépasser.
· atmosphère multiple des processus en un seul cycle sont possibles (ex: brûlure du liant dans l'air et les pièces frittage sous vide grossier ou environnement de gaz inerte.)
· ampèremètre intégré et deux voltmètres pour une surveillance et un dépannage faciles.
· ordinateur intégré interface.
· longue durée de vie type k thermocouple.
· option four coulissant vous donne des taux de refroidissement ultra rapides
sécurité
· protection contre la surchauffe se ferme dans le four si la température est en dehors de la plage acceptable (se référer à manuel du contrôleur) ou lorsque le thermocouple est cassé ou fonctionne mal.
· protection contre les coupures de courant reprend le fonctionnement du four juste après le point de défaillance lorsque l'alimentation est coupée rétabli.
avertissement! ne jamais remplir le four d'explosif gaz, y compris l'hydrogène, le monoxyde de carbone et le méthane.
four, pompe à vide et spécifications du système de mélange de gaz
matériau du tube |
quartz |
élément chauffant |
kanthal ® (suède) fil de bobine de résistance |
max. vs constant températures de travail |
1200 ° c max. et 1100 ° c constant |
couple thermo type |
k |
doublure réfractaire |
Mitsubishi ® (Japon) Alumine de fibre de catégorie 1500 |
Température manette |
shimaden ® (Japon) fp93 avec 4 programmes et 40 segments |
chauffage maximum & amp; taux de refroidissement |
& lt; 30 ° c / min |
Température précision du contrôleur |
+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f) |
étanchéité sous vide kit de bride |
acier inoxydable brides d'étanchéité sous vide avec une jauge à vide, |
électrique exigences |
220vac, 3,5kw, monophasé |
spécifications du générateur RF
électrique exigences |
208-240 volts 50/60 hz |
puissance de sortie |
5 à 500 watts, réglable par pas de +/- 1% |
fréquence rf |
13,56 mhz avec +/- 0,005% de stabilité |
pouvoir de réflexion |
10 watts max. |
correspondant à |
automatique |
port de sortie rf |
50 Ω, type n, femelle |
refroidissement |
air |
description de la pièce |
quantité |
image de la pièce |
four à tube fendu |
1 jeu |
|
gaz multicanaux Système d'alimentation |
1 jeu |
|
plasma rf power approvisionnement (facultatif) |
1 jeu |
|
pompe à vide et boîtier (en option) |
1 jeu |
|
tube de quartz |
1 pc |
|
tube en téflon (n représente le nombre de tubes) |
n * 5 |
|
acier inoxydable brides d'étanchéité sous vide avec manomètre |
1 jeu |
|
acier inoxydable crochet |
1 pc |
|
céramique d'alumine bloc thermique |
2 paires |
|
gants thermiques |
1 paire |
|
haute température Al 2 o 3 alumine creuset |
5 pièces |
|
fusible de rechange |
2 pièces |
|
ordinateur usb / rs485 kit d'interface |
1 jeu |
|
four et manuel du contrôleur shimaden |
2 pièces |
|
1. nous fournissons des machines avec prise en charge de la technologie de la batterie.
2. nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la ligne de production e.
1 emballage standard exporté: protection anti-collision interne, emballage en bois pour exportation externe.
2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.
3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie des dommages pour vous gratuitement.