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Sliding PECVD System

Système pecvd coulissant double zone 1200 ℃

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200
  • Paiement:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
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Détails du produit

Système pecvd coulissant double zone 1200 ℃


tmax-1200-1200 le système de pecvd de zone à deux températures de type glissement est composé de tmax-1200-1200 four tubulaire à vide à deux températures de type à glissement, chambre à vide en quartz, radio alimentation en fréquence, système d'alimentation en gaz gx, système de pompage et vide Système de mesure.

caractéristiques principales:

1. le gaz La chambre à vide en quartz est transformée en état ionique par une alimentation RF.

2. pecvd est cvd inférieur à la normale pour le dépôt chimique en phase vapeur

3. le stress de les films déposés peuvent être contrôlés par la fréquence de l'alimentation rf

4. pecvd a taux de dépôt élevé, bonne uniformité, consistance et stabilité que la normale cvd.

5. largement utilisé dans la croissance de divers films, tels que siox, sinx, sioxny et amorphous silicium (a-si: h), etc.

cette diapositive tl1200-1200 type technique de système pecvd à double température est un chauffage rapide, la température du système de refroidissement pecvd, est dans la plage de température de système double pecvd installé sur une paire de glissière, technique disponible système coulissant manuel.

chauffage et vitesse de refroidissement jusqu'à 100 ° c / min.

pour obtenir le chauffage le plus rapide, chauffez le poêle à la température réglée au préalable, puis déplacez le four à la position de l'échantillon.

pour obtenir le refroidissement le plus rapide, déplacez le poêle à l'autre extrémité après que l'échantillon est chauffé.

chauffage et le taux de refroidissement sous vide ou dans un environnement de gaz inerte peut atteindre 10 ° c / s, est un faible coût rapide de la plage de température de chauffage et de refroidissement du système double pecvd technique.

1. fil de résistance kanthal a1 de suède

kanthal a1 résistance chinoise d'origine du fil four à fil vs   four à fil de résistance importé

(1), la température de surface élevée peut atteindre 1420

(2) la surface est en acier inoxydable (très brillant, le client devrait y faire attention), il ne rouillera pas et le temps d'utilisation ne tombera pas du laitier.

(3) les données du fil de résistance kanthal sont téléchargées

(4) Site Web du fil de résistance kanthal: www.kanthal.com

(5) la résistance est équilibrée et le champ de température est tout aussi bon

la plupart des fabricants utilisent un alliage fe-cr-al dopé par mo fil de résistance, qui

parfois la résistance est inégale et une partie de la chaleur est petite                                           kanthal La résistance a1 est uniforme et équilibrée en chaleur, bon champ de température                                                                                                                                                                       effet

2. installation d'air interrupteur et protecteur de fuite:

quand un courant électrique ou une fuite, une réunion vide se déconnecte automatiquement.

3. peut se connecter avec un ordinateur

ce four est équipé d'une interface de communication et logiciel, peut être directement via le contrôle informatique du four de chaque paramètre, et peut être observé à partir de l'ordinateur pv sur le poêle et sv la valeur de température et le fonctionnement de l'instrument, la température réelle courbe de four dessinant l'ordinateur en temps réel, et peut conserver les données de température de à chaque fois, peut appeler à tout moment

4. chambre

(1 ) de haute qualité en alumine pure polycristalline four à fibres durcies avec aspiration sous vide et moulage de filtre.

(2). adopter la technologie japonaise pour former.

(3). l'espacement et le pas du fil de résistance dans le four sont disposés selon la meilleure technologie thermique du japon, et le le champ de température est simulé par un logiciel thermique

(4). en utilisant 4 semaines chauffage, la température est plus équilibrée

5. ul en option carte électrique certifiée (tout au long de la certification ul des importations appareils électriques)

6. déclencheur

démarrage progressif déclencheur de limitation de courant                           la plupart des fabricants utilisent des déclencheurs non limitatifs de xiamen bode

1 détente à décalage de phase (avec démarrage progressif et limitation de courant une fonction)

2. fonction de limitation de courant, peu importe comment régler le chauffage temps nous four électrique après le courant secondaire du transformateur est limité à 170a ou protection moins limitée de l'équipement. déclencheur non limitatif si la vitesse de chauffe est mal réglée ou trop rapide. courant de courant faible est très grand l'appareil se déclenche ou s'éteint.

3 fonction de démarrage progressif le courant augmentera lentement la courant l'impact de l'élément chauffant est faible est propice à la prolongation de la durée de vie de l'élément chauffant

4 la fonction de protection si le courant dépasse la limite le déclencheur actuel coupera automatiquement la fonction de déclenchement pour couper le four de protection actuel.

7. ul transformateur certifié

1 le câble du transformateur est pur cuivre

2 le son du transformateur petit

3 la température du transformateur est faible

8. une variété d'options pour choisir une variété de brides (diamètre de 25 à 250 mm)

modèle

tmax-1200-1200 - i

tmax-1200-1200-ii

tmax-1200-1200-iii

tmax-1200-1200-iv

Puissance

3 kw

3 kw

4 kw

4 kw

tube   Taille

120   (od) x1800mm de diamètre

60   (od) x1800mm de diamètre

80   (od) x1800mm de diamètre

100   (od) x1800mm de diamètre

global   dimensions (lxdxh)

1800   x480x680

1800   x410x610

1800   x410x610

1800   x460x660

le   tension d'alimentation

220 v

faire glisser   matériel ferroviaire

304   acier inoxydable

glissement   mode

inoxydable   roulement à rouleaux en acier

nombre   de phase

Célibataire   phase

chauffage   élément

importation   fil de résistance a1 canthal suédois cliquez dans le téléchargement de données

le   mode de contrôle

en utilisant le thermomètre de contrôle de programme électrique yu (standard)
1. 30 réglage de pid intelligent de température de contrôle de programme.
2. le circuit de chauffage du four électrique peut être automatiquement coupé   quand il a été protégé par chaud ou cassé accidentellement. (quand le four   la température dépasse 1200 degrés ou le thermocouple est cassé, le relais ca   sur le circuit principal se déconnectera automatiquement, le circuit principal est   cassé, la lumière sur le panneau est éteinte, hors de la lumière, la protection limitée   four électrique.
3. avec interface de communication 485 (standard et standard pour le choix   Logiciel)
4. il a la fonction de protection contre les pannes de courant, c'est-à-dire lorsque l'alimentation   est désactivé, le programme ne démarre pas à partir de la température de départ, mais   la fournaise commencera à augmenter lorsque l'alimentation sera coupée.
l'instrument a la fonction d'auto-réglage de la température

(pour remplacer l'instrument importé, nous devons payer   un autre frais.)

fp93   table de contrôle de la température (shimaden) européen   instruments

instrument à écran tactile

le   mode de contrôle de la température

pid

cassé   protection et affichage uniformes

Oui

plus de   protection de la température

Oui

plus de   protection actuelle

Oui

contrôle   précision

+ / -   1

le   déclencheur

phase   déclencheur de décalage

électrique   appareils électroménagers

zhejiang   chint

silicium   redresseur commandé

106 / 16e   porte ouest, allemagne

le   température la plus élevée

Température   zone1: 1200 zone de température 2: 1200

le   température nominale

Température   zone1: 1100 zone de température 2: 1100

chauffage   taux

le   20 / min ou moins (peut modifier selon l'exigence)

conseillé   taux de chauffage

dix / min ou moins

modèle   de thermocouple

les zones   1: plage de température de type k 2: type k

chauffage   longueur

les zones   1: plage de température de 200 mm. 2: 200 mm

électrique   certification

ce

alentours   température de surface

45 ou moins

rf   source de courant

(générateur de plasma)

Puissance   plage de sortie

0-500   w

maximum   puissance réfléchie

200   w.

travail   la fréquence

rf:   13,56 mhz plus ou moins 0,005%

Puissance   la stabilité

+ / -   0,1%

harmonique   composant

- 50   ou moins dbc

rf   largeur

0-600   - mm est réglable

correspondant à   mode

automatique

refroidissement   mode

air   du froid

bruit

le   & lt; 50 db

le   interface radiofréquence

50 Ω   n - type

contribution   Puissance

208-240   - v 50/60 hz

principale   paramètres du système d'alimentation en gaz gx

Masse   débitmètre
la gamme standard
en utilisant le contrôleur de flux de protons 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(vous pouvez choisir la gamme de la gamme et le type de gaz)
pression de travail maximale 3 mp
la précision de plus ou moins 1,5%
la chute de pression & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
précision de répétition plus ou moins 0,2% f.s

canaux:

1, 2,   3, 4, 5, 6, 7, 8 (facultatif)

mixte   type

double   connecteur de cassette en acier inoxydable

système   plage de pression de travail

0,1 ~   0,5 mpa

travail   Température

5-45

pression   montre à vide

0,1 ~   0,15 mpa à 0,01 mpa / caisse

statique   chambre mixte

dia50   x 400 mm

interface

dia6   1/4 "

le   source de courant

220 v

Taille

600   x600x600

ondulé   tuyau

kf25x1000mm

le   le degré de vide peut être atteint avec ce système

10-1   le pa

vide   soupape à chicane

kf25

vrd   à 8 pompe à vide

modèle

vrd   à 8

limitant   pression partielle

5   x10-2 pa

entrée   interface d'échappement

kf25

moteur   la vitesse

1440   tr / min

extraction   taux

2.2   l / s

moteur   Puissance

0,4   kw

perfeer   pompe à racines multi-étages sans huile acp1 (plan 2)

modèle

acp15

Puissance   la fourniture

ac100   ~ 240v 50 / 60hz

Puissance

450 w

échappement   interface

kf25

poids

25 kg

le   le taux de fuite d'hélium maximum est

5 ·   10-8 pa m3 / s

extrême   degré de vide

0,02   Torr

le   le taux d'extraction est

14 m3   / h

modèle

zdr -   1

Puissance

25 w.

vide   plage de mesure des degrés

0,1-10   5 pa

la résistance   silicium

quoi   zj devait 52 t

Suède   (Inficon) Pirani capacimètre à vide (en option)

modèle

pcg554

contribution   Tension

24v   1a dc (équipé d'un transformateur 220v)

vide   interface de jauge

kf16

numérique   afficher

numérique   affichage (taille d'écran 20x14 mm), dont l'unité d'affichage des données est torr

produit   Taille

46mm   x 28 mm x 126 mm (l x l x h)

le   poids du

5 lb

détection   de gaz

divers   les gaz peuvent être détectés y compris les gaz mélangés, précis et reproductibles.

qu'il s'agisse   l'anti-corrosion

corrosion   protection

le   Temps de réponse

30 ms   ou moins

mesure   intervalle

3.8   x10-5-1125 torr.

moléculaire   unité de pompe (en option)

unité   tension d'entrée

380 v   / 220 v

ondulé   tuyau

kf40x1000

vide   soupape à chicane

kf40

Cas   Taille

600   x600x600

moléculaire   modèle de pompe

fj620

contribution   Tension

380 v

moléculaire   bride d'entrée de pompe

dn160

moléculaire   pompe débit de pompage l / s (pour l'air)

600

moléculaire   pression limite de la pompe (pa)

6 x   10-7

refroidissement   système

l'eau   refroidi

refroidissement   pression de l'eau (mpa)

0,1   à 0,2

refroidissement   la température de l'eau

& lt;   25 & lt; p = "" & gt;

le   Température de l'environnement

0 ~   40

suggéré   pression de démarrage

& lt;   100 pa & lt; p = "" & gt;

moteur   pompe à vide rvp - 6

Puissance

0,75   kw

Tension

380 v

la vitesse

1450   tr / min

entrée   diamètre

kf25   / kf40

pompe   débit de pompage (l / s)

6

ultime   pression

4   x10-2 pa

allemand   pompe à vide pfeiffer

Tension

220 v

Puissance

110   w.

extraction   interface

kf40

le   poids du

150   kg

pompe   vitesse de la pompe avant

0,9 m   3 / h

extraction   taux (n2)

33   Mme

composé   jauge à vide

composé   modèle de jauge à vide

zdf

le   source de courant

220 v   55 w

contrôle   précision

plus   ou moins 1%

vide   plage de mesure de la jauge

10-5-10   5 pa

les pièces

nombre

tl1200-1200   four tubulaire

1 jeu

quartz   tube

1

ss   bride

1 jeu

inoxydable   crochet en acier

1

alumine   prise de four

3

haute   gants de température

1   paire

alumine   creuset

1

thermocouple

1

485   transformer les interfaces et les logiciels optionnel

1 jeu

instruction   livre

1

bride   soutien

1

gaz   Système d'alimentation

1

vs-0.1air   système d'extraction

1

rf   Puissance

1

virole

4

mugissement

1

vide   soupape à chicane

1

cyl   connecteur n représente le nombre de canaux

n

soupape   connecteur

2

PTFE   pipe (n représente le nombre de canaux)

n * 5

PECVD Furnace


1. nous fournissons des machines avec prise en charge de la technologie de la batterie.

2. nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la ligne de production e.


laboratory muffle furnace


1 emballage standard exporté: protection anti-collision interne, emballage en bois pour exportation externe.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

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