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PECVD Furnace

3 zones de température 150 mm OD four pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200

  • Paiement:

    L/C D/A D/P T/T Western Union

  • Delivery Time:

    5 days
Détails du produit

3 zones de température 150 mm OD four pecvd


tmax-1200-1200-1200 le système est composé de four à tube sous vide tl1200, chambre à vide en quartz, alimentation rf, système d'alimentation en gaz gx, système de pompage et système de mesure du vide.

caractéristiques principales:

1. le gaz La chambre à vide en quartz est transformée en état ionique par une alimentation RF.

2. pecvd est cvd inférieur à la normale pour le dépôt chimique en phase vapeur.

3. le stress de les films déposés peuvent être contrôlés par la fréquence de l'alimentation RF.

4. pecvd a haute taux de dépôt, bonne uniformité, consistance et stabilité que le cvd normal.

5. largement utilisé dans la croissance de divers films, tels que siox, sinx, sioxny et amorphous silicium (a-si: h), etc.

le tl1200 - technique du système pecvd à l'élément chauffant à fil de résistance kanthal suédois, en utilisant une structure à double coque et une table de contrôle de la température à 30 programmes, gâchette déphaseuse, commande à thyristors, four à polycristallin matériau en fibre d'alumine, peut le joint de bride en acier inoxydable aux deux extrémités du le tube du four, l'installation de la bride en acier inoxydable ont une bouche, une valve et manomètre, vide, le degré de vide peut atteindre 10-3 pa, champ à basse température équilibrage, température de surface, température de levage, économie d'énergie, prix concessions, etc.

1. fil de résistance kanthal a1 de suède

kanthal a1 résistance chinoise d'origine du fil four à fil vs   four à fil de résistance importé

(1), la température de surface élevée peut atteindre 1420 ℃

(2) la surface est en acier inoxydable (très brillant, le client devrait y faire attention), il ne rouillera pas et le temps d'utilisation ne tombera pas du laitier.

(3) les données du fil de résistance kanthal sont téléchargées

(4) Site Web du fil de résistance kanthal: www.kanthal.com

(5) la résistance est équilibrée et le champ de température est tout aussi bon

la plupart des fabricants utilisent un alliage fe-cr-al dopé par mo fil de résistance, qui

parfois la résistance est inégale et une partie de la chaleur est petite                                           kanthal La résistance a1 est uniforme et équilibrée en chaleur, bon champ de température                                                                                                                                                                       effet

2. installation d'air interrupteur et protecteur de fuite:

quand un courant électrique ou une fuite, une réunion vide se déconnecte automatiquement.

3. peut se connecter avec un ordinateur

ce four est équipé d'une interface de communication et logiciel, peut être directement via le contrôle informatique du four de chaque paramètre, et peut être observé à partir de l'ordinateur pv sur le poêle et sv la valeur de température et le fonctionnement de l'instrument, la température réelle courbe de four dessinant l'ordinateur en temps réel, et peut conserver les données de température de à chaque fois, peut appeler à tout moment

4. chambre

(1 ) de haute qualité en alumine pure polycristalline four à fibres durcies avec aspiration sous vide et moulage de filtre.

(2). adopter la technologie japonaise pour former.

(3). l'espacement et le pas du fil de résistance dans le four sont disposés selon la meilleure technologie thermique du japon, et le le champ de température est simulé par un logiciel thermique

(4). en utilisant 4 semaines chauffage, la température est plus équilibrée

5. ul en option carte électrique certifiée (tout au long de la certification ul des importations appareils électriques)

6. déclencheur

démarrage progressif déclencheur de limitation de courant                           la plupart des fabricants utilisent des déclencheurs non limitatifs de xiamen bode

1 détente à décalage de phase (avec démarrage progressif et limitation de courant une fonction)

2. fonction de limitation de courant, peu importe comment régler le chauffage temps nous four électrique après le courant secondaire du transformateur est limité à 170a ou protection moins limitée de l'équipement. déclencheur non limitatif si la vitesse de chauffe est mal réglée ou trop rapide. courant de courant faible est très grand l'appareil se déclenche ou s'éteint.

3 fonction de démarrage progressif le courant augmentera lentement la courant l'impact de l'élément chauffant est faible est propice à la prolongation de la durée de vie de l'élément chauffant

4 la fonction de protection si le courant dépasse la limite le déclencheur actuel coupera automatiquement la fonction de déclenchement pour couper le four de protection actuel.

7. ul transformateur certifié

1 le câble du transformateur est pur cuivre

2 le son du transformateur petit

3 la température du transformateur est faible

8. une variété d'options pour choisir une variété de brides (diamètre de 25 à 250 mm)

modèle

tmax-1200-1200-1200 - je

tmax-1200-1200-1200 -ii

tmax-1200-1200-1200 -iii

tmax-1200-1200-1200 -iv

taille du tube

120 (od) x1800mm de diamètre

60 (od) x1800mm de diamètre

80 (od) x1800mm de diamètre

100 (od) x1800mm de diamètre

dimensions hors tout (lxdxh)

1800 x480x680

1800 x410x610

1800 x410x610

1800 x460x660

la tension d'alimentation

220 v

matériel de rail de glissière

Acier inoxydable 304

mode coulissant

roulement de roulement d'acier inoxydable

nombre de phase

monophasé

élément chauffant

importation de la résistance a1 du canthal suédois   fil cliquez sur le téléchargement des données

le mode de contrôle

en utilisant la commande de programme électrique yu   thermomètre (standard)
1. 30 réglage de pid intelligent de température de contrôle de programme.
2. le circuit de chauffage du four électrique peut être automatiquement coupé   quand il a été protégé par chaud ou cassé accidentellement. (quand le four   la température dépasse 1200 degrés ou le thermocouple est cassé, le relais ca   sur le circuit principal se déconnectera automatiquement, le circuit principal est   cassé, la lumière sur le panneau est éteinte, hors de la lumière, la protection limitée   four électrique.
3. avec interface de communication 485 (standard et standard pour le choix   Logiciel)
4. il a la fonction de protection contre les pannes de courant, c'est-à-dire lorsque l'alimentation   est désactivé, le programme ne démarre pas à partir de la température de départ, mais   la fournaise commencera à augmenter lorsque l'alimentation sera coupée.

l'instrument a la fonction d'auto-réglage de la température

(pour remplacer l'instrument importé,   nous devons payer des frais supplémentaires.)

fp93   table de contrôle de la température (shimaden)

européen   instruments écran tactile   instrument

le mode de contrôle de la température

pid

écran et protection même cassés

Oui

protection contre la surchauffe

Oui

Protection contre les surintensités

Oui

précision de contrôle

+ / - 1 ℃

le déclencheur

déclencheur de déphasage

appareils électriques

zhejiang chint

redresseur commandé par silicium

106 / 16e West Gate, Allemagne

la température la plus élevée

zone de température1: 1200 ℃ Température   zone 2: 1200 ℃

la température nominale

zone de température1: 1100 ℃ Température   zone 2: 1100 ℃

taux de chauffage

le 20 ℃ / min ou moins   (peut modifier selon l'exigence)

taux de chauffage recommandé

dix ℃ / min ou moins

modèle de thermocouple

zones 1: plage de température de type k   2: type k

longueur de chauffage

zones 1: plage de température de 200 mm.   2: 200 mm

certification électrique

ce

température de surface environnante

45 ℃ ou moins

alimentation rf

(plasma   Générateur)

plage de puissance de sortie

0-500 w

puissance réfléchie maximale

200 w.

fréquence de travail

rf: 13,56 mhz plus ou moins 0,005%

stabilité de puissance

+ / - 0,1%

composante harmonique

- 50 dB ou moins

largeur rf

0-600 - mm est réglable

mode de correspondance

automatique

mode de refroidissement

air froid

bruit

le & lt; 50 db

l'interface radiofréquence

50 Ω n - type

la puissance d'entrée

208-240 - v 50/60 hz

principaux paramètres de l'approvisionnement en gaz gx   système

Débitmètre massique
la gamme standard
en utilisant le contrôleur de flux de protons 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(vous pouvez choisir la gamme de la gamme et le type de gaz)
pression de travail maximale 3 mp
la précision de plus ou moins 1,5%
la chute de pression & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
précision de répétition plus ou moins 0,2% f.s

canaux:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (facultatif)

type de joint

double cassette en acier inoxydable   connecteur

plage de pression de travail du système

0,1 ~ 0,5 mpa

température de fonctionnement

5-45 ℃

montre sous vide sous pression

0,1 ~ 0,15 mpa à 0,01 mpa / caisse

chambre de mélange statique

dia50 x 400 mm

interface

dia6 1/4 "

l'alimentation

220 v

Taille

600 x600x600

Tuyau ondulé

kf25x1000mm

le degré de vide peut être atteint avec   ce système

10-1 le pa

clapet à chicane sous vide

kf25

vrd à 8 pompe à vide

modèle

vrd à 8

limitation de la pression partielle

5 x10-2 pa

interface d'échappement d'entrée

kf25

vitesse du moteur

1440 tr / min

taux d'extraction

2,2 l / s

Puissance du moteur

0,4 kw

perfeer acp1 multi-stage sans huile   pompe à racines (plan 2)

modèle

acp15

source de courant

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

Puissance

450 w

interface d'échappement

kf25

poids

25 kg

le taux de fuite d'hélium maximum est

5 · 10-8 pa m3 / s

degré de vide extrême

0,02 torr

le taux d'extraction est

14 m3 / h

modèle

zdr - 1

Puissance

25 w.

plage de mesure du degré de vide

0,1-10 5 pa

silicium de résistance

ce que zj avait à 52 t

suède (inficon) capacité pirani   mètre de vide (facultatif)

modèle

pcg554

tension d'entrée

24v 1a dc (équipé de 220v   transformateur)

interface de jauge à vide

kf16

affichage numérique

affichage numérique (taille d'écran 20x14mm),   dont l'unité d'affichage des données est torr

taille du produit

46 mm x 28 mm x 126 mm (lxlxh)

le poids du

5 lb

détection de gaz

divers gaz peuvent être détectés   y compris les gaz mélangés, précis et répétable.

si l'anti-corrosion

protection contre la corrosion

le temps de réponse

30 ms ou moins

plage de mesure

3,8 x10-5-1125 torr.

unité de pompe moléculaire (facultative)

tension d'entrée de l'unité

380 v / 220 v

Tuyau ondulé

kf40x1000

clapet à chicane sous vide

kf40

taille de la valise

600 x600x600

pompe moléculaire

modèle de pompe moléculaire

fj620

tension d'entrée

380 v

bride d'entrée de pompe moléculaire

dn160

débit de pompage de la pompe moléculaire l / s (pour   air)

600

pression limite de la pompe moléculaire (pa)

6 x 10-7

système de refroidissement

refroidi à l'eau

pression d'eau de refroidissement (mpa)

0,1 à 0,2

température de l'eau de refroidissement

& lt; 25 ℃ & lt; p =   "" & gt;

la température de l'environnement

0 ~ 40 ℃

pression de départ suggérée

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

pompe à vide pour moteur rvp - 6

Puissance

0,75 kw

Tension

380 v

la vitesse

1450 tr / min

diamètre d'entrée

kf25 / kf40

débit de pompage de la pompe (l / s)

6

pression ultime

4 x10-2 pa

pompe à vide pfeiffer allemande

Tension

220 v

Puissance

110 w.

interface d'extraction

kf40

le poids du

150 kg

vitesse de la pompe avant

0,9 m 3 / h

taux d'extraction (n2)

33 m / s

manomètre à vide composé

modèle de jauge à vide composé

zdf

l'alimentation

220 v 55 w

précision de contrôle

plus ou moins 1%

plage de mesure de la jauge à vide

10-5-10 5 pa

PECVD Furnace


1. nous fournissons des machines avec prise en charge de la technologie de la batterie.

2. nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la ligne de production e.


laboratory muffle furnace


1 emballage standard exporté: protection anti-collision interne, emballage en bois pour exportation externe.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie des dommages pour vous gratuitement.




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four à tube de pecvd Four à pecvd à 3 températures four de pecvd
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