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Four à tube coulissant en pecvd à 3 zones de température
Model Number:
TMAX-1200-1400-1200Port d’expédition:
XiamenPaiement:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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mini four à tube coulissant en pecvd à zone de température uniqueProchaine:
3 zones de température 150 mm OD four pecvd
Four à tube coulissant en pecvd à 3 zones de température
tmax-1200-1400-1200 le système est composé de four à tube sous vide tl1200, chambre à vide en quartz, alimentation rf, système d'alimentation en gaz gx, système de pompage et système de mesure du vide.
caractéristiques principales:
1. le gaz La chambre à vide en quartz est transformée en état ionique par une alimentation RF.
2. pecvd est cvd inférieur à la normale pour le dépôt chimique en phase vapeur.
3. le stress de les films déposés peuvent être contrôlés par la fréquence de l'alimentation RF.
4. pecvd a haute taux de dépôt, bonne uniformité, consistance et stabilité que le cvd normal.
5. largement utilisé dans la croissance de divers films, tels que siox, sinx, sioxny et amorphous silicium (a-si: h), etc.
tmax1200-1400-1200-h-pe technique du système à l'élément chauffant en fil de résistance kanthal suédois, en utilisant une structure à double coque et une table de contrôle de la température à 30 programmes, gâchette déphaseuse, commande à thyristors, four à polycristallin matériau en fibre d'alumine, peut le joint de bride en acier inoxydable aux deux extrémités du le tube du four, l'installation de la bride en acier inoxydable ont une bouche, une valve et manomètre, vide, le degré de vide peut atteindre 10-3 pa, champ à basse température équilibrage, température de surface, température de levage, économie d'énergie, prix concessions, etc.
1. fil de résistance kanthal a1 de suède
kanthal a1 résistance chinoise d'origine du fil four à fil vs four à fil de résistance importé
(1), la température de surface élevée peut atteindre 1420 ℃
(2) la surface est en acier inoxydable (très brillant, le client devrait y faire attention), il ne rouillera pas et le temps d'utilisation ne tombera pas du laitier.
(3) les données du fil de résistance kanthal sont téléchargées
(4) Site Web du fil de résistance kanthal: www.kanthal.com
(5) la résistance est équilibrée et le champ de température est tout aussi bon
la plupart des fabricants utilisent un alliage fe-cr-al dopé par mo fil de résistance, qui
parfois la résistance est inégale et une partie de la chaleur est petite kanthal La résistance a1 est uniforme et équilibrée en chaleur, bon champ de température effet
2. installation d'air interrupteur et protecteur de fuite:
quand un courant électrique ou une fuite, une réunion vide se déconnecte automatiquement.
3. peut se connecter avec un ordinateur
ce four est équipé d'une interface de communication et logiciel, peut être directement via le contrôle informatique du four de chaque paramètre, et peut être observé à partir de l'ordinateur pv sur le poêle et sv la valeur de température et le fonctionnement de l'instrument, la température réelle courbe de four dessinant l'ordinateur en temps réel, et peut conserver les données de température de à chaque fois, peut appeler à tout moment
4. chambre
(1 ) de haute qualité en alumine pure polycristalline four à fibres durcies avec aspiration sous vide et moulage de filtre.
(2). adopter la technologie japonaise pour former.
(3). l'espacement et le pas du fil de résistance dans le four sont disposés selon la meilleure technologie thermique du japon, et le le champ de température est simulé par un logiciel thermique
(4). en utilisant 4 semaines chauffage, la température est plus équilibrée
5. ul en option carte électrique certifiée (tout au long de la certification ul des importations appareils électriques)
6. déclencheur
démarrage progressif déclencheur de limitation de courant la plupart des fabricants utilisent des déclencheurs non limitatifs de xiamen bode
1 détente à décalage de phase (avec démarrage progressif et limitation de courant une fonction)
2. fonction de limitation de courant, peu importe comment régler le chauffage temps nous four électrique après le courant secondaire du transformateur est limité à 170a ou protection moins limitée de l'équipement. déclencheur non limitatif si la vitesse de chauffe est mal réglée ou trop rapide. courant de courant faible est très grand l'appareil se déclenche ou s'éteint.
3 fonction de démarrage progressif le courant augmentera lentement la courant l'impact de l'élément chauffant est faible est propice à la prolongation de la durée de vie de l'élément chauffant
4 la fonction de protection si le courant dépasse la limite le déclencheur actuel coupera automatiquement la fonction de déclenchement pour couper le four de protection actuel.
7. ul transformateur certifié
1 le câble du transformateur est pur cuivre
2 le son du transformateur petit
3 la température du transformateur est faible
8. une variété d'options pour choisir une variété de brides (diamètre de 25 à 250 mm)
modèle |
tmax-1200-1400-1200 |
Puissance |
6kw |
taille du tube |
dia 60 (od) x2700mm |
la tension d'alimentation |
220 v |
nombre de phase |
monophasé |
élément chauffant |
importation de la résistance a1 du canthal suédois fil cliquez sur le téléchargement des données |
le mode de contrôle |
en utilisant la commande de programme électrique yu thermomètre (standard)
table de contrôle de la température fp93 instruments européens instrument à écran tactile (shimaden) |
le mode de contrôle de la température |
pid |
écran et protection même cassés |
Oui |
protection contre la surchauffe |
Oui |
Protection contre les surintensités |
Oui |
précision de contrôle |
+ / - 1 ℃ |
le déclencheur |
déclencheur de déphasage |
appareils électriques |
zhejiang chint |
redresseur commandé par silicium |
106 / 16e West Gate, Allemagne |
la température la plus élevée |
zone de température1: 1200 ℃ Température zone 2: 1200 ℃ |
la température nominale |
zone de température1: 1100 ℃ Température zone 2: 1100 ℃ |
taux de chauffage |
le 20 ℃ / min ou moins (peut modifier selon l'exigence) |
taux de chauffage recommandé |
dix ℃ / min ou moins |
modèle de thermocouple |
zones 1: plage de température de type k 2: type k |
longueur de chauffage |
zones 1: plage de température de 200 mm. 2: 200 mm |
certification électrique |
ce |
température de surface environnante |
45 ℃ ou moins |
alimentation rf |
(générateur de plasma) |
plage de puissance de sortie |
0-500 w |
puissance réfléchie maximale |
200 w. |
fréquence de travail |
rf: 13,56 mhz plus ou moins 0,005% |
stabilité de puissance |
+ / - 0,1% |
composante harmonique |
- 50 dB ou moins |
largeur rf |
0-600 - mm est réglable |
mode de correspondance |
automatique |
mode de refroidissement |
air froid |
bruit |
le & lt; 50 db |
l'interface radiofréquence |
50 Ω n - type |
la puissance d'entrée |
208-240 - v 50/60 hz |
principaux paramètres de l'approvisionnement en gaz gx système |
Débitmètre massique |
canaux: |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (facultatif) |
type de joint |
double cassette en acier inoxydable connecteur |
plage de pression de travail du système |
0,1 ~ 0,5 mpa |
température de fonctionnement |
5-45 ℃ |
montre sous vide sous pression |
0,1 ~ 0,15 mpa à 0,01 mpa / caisse |
chambre de mélange statique |
dia50 x 400 mm |
interface |
dia6 1/4 " |
l'alimentation |
220 v |
Taille |
600 x600x600 |
Tuyau ondulé |
kf25x1000mm |
le degré de vide peut être atteint avec ce système |
10-1 le pa |
clapet à chicane sous vide |
kf25 |
vrd à 8 pompe à vide |
|
modèle |
vrd à 8 |
limitation de la pression partielle |
5 x10-2 pa |
interface d'échappement d'entrée |
kf25 |
vitesse du moteur |
1440 tr / min |
taux d'extraction |
2,2 l / s |
Puissance du moteur |
0,4 kw |
perfeer acp1 multi-stage sans huile pompe à racines (plan 2) |
|
modèle |
acp15 |
source de courant |
ac100 ~ 240v 50 / 60hz |
Puissance |
450 w |
interface d'échappement |
kf25 |
poids |
25 kg |
le taux de fuite d'hélium maximum est |
5 · 10-8 pa m3 / s |
degré de vide extrême |
0,02 torr |
le taux d'extraction est |
14 m3 / h |
modèle |
zdr - 1 |
Puissance |
25 w. |
plage de mesure du degré de vide |
0,1-10 5 pa |
silicium de résistance |
ce que zj avait à 52 t |
suède (inficon) capacité pirani mètre de vide (facultatif) |
|
modèle |
pcg554 |
tension d'entrée |
24v 1a dc (équipé de 220v transformateur) |
interface de jauge à vide |
kf16 |
affichage numérique |
affichage numérique (taille d'écran 20x14mm), dont l'unité d'affichage des données est torr |
taille du produit |
46 mm x 28 mm x 126 mm (lxlxh) |
le poids du |
5 lb |
détection de gaz |
divers gaz peuvent être détectés y compris les gaz mélangés, précis et répétable. |
si l'anti-corrosion |
protection contre la corrosion |
le temps de réponse |
30 ms ou moins |
plage de mesure |
3,8 x10-5-1125 torr. |
unité de pompe moléculaire (facultative) |
|
tension d'entrée de l'unité |
380 v / 220 v |
Tuyau ondulé |
kf40x1000 |
clapet à chicane sous vide |
kf40 |
taille de la valise |
600 x600x600 |
pompe moléculaire |
|
modèle de pompe moléculaire |
fj620 |
tension d'entrée |
380 v |
bride d'entrée de pompe moléculaire |
dn160 |
débit de pompage de la pompe moléculaire l / s (pour air) |
600 |
pression limite de la pompe moléculaire (pa) |
6 x 10-7 |
système de refroidissement |
refroidi à l'eau |
pression d'eau de refroidissement (mpa) |
0,1 à 0,2 |
température de l'eau de refroidissement |
& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt; |
la température de l'environnement |
0 ~ 40 ℃ |
pression de départ suggérée |
& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt; |
pompe à vide pour moteur rvp - 6 |
|
Puissance |
0,75 kw |
Tension |
380 v |
la vitesse |
1450 tr / min |
diamètre d'entrée |
kf25 / kf40 |
débit de pompage de la pompe (l / s) |
6 |
pression ultime |
4 x10-2 pa |
pompe à vide pfeiffer allemande |
|
Tension |
220 v |
Puissance |
110 w. |
interface d'extraction |
kf40 |
le poids du |
150 kg |
vitesse de la pompe avant |
0,9 m 3 / h |
taux d'extraction (n2) |
33 m / s |
manomètre à vide composé |
|
modèle de jauge à vide composé |
zdf |
l'alimentation |
220 v 55 w |
précision de contrôle |
plus ou moins 1% |
plage de mesure de la jauge à vide |
10-5-10 5 pa |
1. nous fournissons des machines avec prise en charge de la technologie de la batterie.
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