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Four CSS à deux zones de laboratoire pour un traitement thermique rapide jusqu'à 3" de diamètre et 650 °C.
Model Number:
OTF-1200X-RTP-IIPort d’expédition:
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Coucheuse de revêtement par pulvérisation ionique sous vide de laboratoire DC avec taille de chambre de 150*120mmProchaine:
Four CSS de laboratoire à deux zones pour un traitement thermique rapide jusqu'à 5" Dia Wafer à Max.800°C
Four CSS à deux zones de laboratoire pour un traitement thermique rapide jusqu'à 3" de diamètre et 650 °C.
OTF-1200X-RTP-II est un four de traitement thermique rapide à deux zones de chauffage avec un tube de quartz de 11 "O.D. Il est conçu pour PVD ou CSS ( Sublimation rapprochée ) revêtement de film jusqu'à 3" de diamètre ou carré de 2"x2". Le four est chauffé séparément par deux groupes d'éléments chauffants halogènes (haut et bas) avec une vitesse de chauffage maximale de 20 °C/s. Deux régulateurs de température de précision à 30 segments sont intégrés avec Précision de +/- 1 ° C. Le port RS485 et le logiciel de contrôle sont inclus pour permettre le fonctionnement de l'enregistrement du profil du four et de la température via PC. C'est un excellent outil pour rechercher des couches minces de nouvelle génération pour les cellules solaires, telles que CdTe, sulfure et P cellule solaire erovskite.
CARACTÉRISTIQUES:
Structure du four & ; Chambre à vide |
· Dual Heater, deux contrôleurs de température, des débitmètres de gaz à deux canaux sont intégrés dans un cadre mobile en alliage d'aluminium · La chambre est constituée d'un tube de quartz fondu de haute pureté · Taille du tube de quartz : 11" OD/10,8" ID x 9" H · Les brides de vide sont en acier inoxydable 316 · Dimension hors tout : 850(L)×745(L)×1615(H) mm |
Brides à vide |
· La bride supérieure avec un orifice d'aspiration KFD-25 et deux sorties de gaz (tuyau de 1/4" requis) peut glisser vers le haut ou vers le bas manuellement pour charger et décharger facilement le substrat et le matériau évaporé · La bride inférieure a un orifice d'aspiration KFD-25 avec deux entrées de gaz (tuyau 1/4" requis) et des vannes à pointeau · La bride est scellée par des joints toriques en silicone doubles et peut atteindre une pression de vide maximale de 10E-2 Torr par une pompe mécanique de qualité et 10E-5 Torr par une pompe moléculaire (la pompe à vide n'est pas incluse, veuillez la commander séparément) · La jauge à vide numérique anti-corrosion de précision est dans un emballage standard (Depuis le 24/03/2016) . |
Compteurs de débit de gaz |
Deux compteurs à flotteur sont installés sur le panneau de commande avec une plage de mesure de : · 16 -160 mL/m · 400 - 4000 mL/m (à des fins de purge) |
Réchauffeur et porte-échantillon |
· Deux lampes IR à ondes courtes comme éléments chauffants pour un chauffage rapide. · La distance entre deux radiateurs est réglable de 10 à 50 mm · Les éléments chauffants sont en acier inoxydable avec une chemise froide à eau pour réduire le rayonnement thermique et permettre un refroidissement rapide · Porte-gaufrette rond 3" est intégré avec un élément chauffant supérieur pour charger le substrat · Une plaque AlN à haute conductivité thermique (7,6 cm de diamètre x 0,5 mm d'épaisseur) est incluse, qui doit être placée à l'arrière du substrat pour le chauffer uniformément. · Une plaque de graphite de 3 "peut être utilisée alternativement pour la plaque AIN, veuillez cliquer sur l'image ci-dessous pour commander. · Le remplacement du radiateur de lumière halogène est disponible moyennant des frais supplémentaires |
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· Deux contrôleurs de température numériques de précision avec 30 segments programmables offrent un contrôle indépendant des éléments chauffants supérieur et inférieur · Chaque contrôleur dispose d'une fonction de réglage automatique PID pour protéger les radiateurs contre les dépassements et d'une fonction d'alarme pour éviter la surchauffe et la rupture du couple thermique. · Interface de communication PC & le logiciel est installé pour (cliquez sur l'image ci-dessous pour plus de détails) enregistrer le profil de température indiqué ci-dessous
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· Température maximale pour chaque élément chauffant : <= 650ºC · Différence de température maximale entre deux radiateurs : <= 300ºC dépend de l'espacement entre deux radiateurs : o Espacement 30 mm max. différence de température : 315 ºC @ sole chauffante uniquement o Espacement 40 mm max. différence de température : 350 °C @ sole chauffante uniquement o Espacement 50 mm max. différence de température : 395 °C @ sole chauffante uniquement |
Chauffage & Taux de refroidissement |
· Chauffage : < 8ºC/s (chauffage simple chauffage uniquement) · Refroidissement : < 10ºC/s (600 - 100ºC) Max. |
Deux couples thermiques de type K (exposés) sont installés séparément sur les radiateurs supérieur et inférieur |
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Tension de travail |
208 - 240 VAC, monophasé, disjoncteur 20 A |
Puissance requise |
2200W au total (1100W pour chaque radiateur) |
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· Une pompe à vide est nécessaire. Veuillez commander séparément en cliquant sur la première image à partir de la gauche ci-dessous. Le niveau de vide peut atteindre < = 10E-2 torr par pompe mécanique · Si vous utilisez du gaz corrosif, veuillez envisager d'utiliser une pompe sèche anti-corrosion comme indiqué dans la deuxième image à partir de la gauche ci-dessous (pompe Pfeiffer d'Allemagne) moyennant des frais supplémentaires. · Vous pouvez commander un refroidisseur d'eau à recirculation pour économiser la source d'eau séparément · Vous pouvez choisir le système de distribution de gaz numérique MFC en cliquant sur la première image en bas à droite
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garantie |
Un an limité avec support à vie (les pièces consommables telles que le tube de quartz et les lampes chauffantes ne sont pas couvertes par la garantie) |
Ordinateur portable, logiciel & Contrôle Wi-Fi (facultatif) |
· Ordinateur portable neuf avec Microsoft Windows 10 et Microsoft Office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate. · Système de contrôle de température basé sur Labview ( EQ-MTS01 ) permet à l'utilisateur de modifier le profil de température, de gérer la recette de traitement thermique, d'enregistrer et de tracer les données pour les fours MTI. · Une télécommande sans fil offre jusqu'à 300 mètres de portée. · Les fonctionnalités ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires (jusqu'à 1 000 $). Veuillez nous contacter pour plus d'informations. · Noter: |
Notes d'application |
Veuillez lire l'article : Cellule solaire CSS CdTe à haut rendement |
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· Les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C. Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 mL/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube. · Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr. |