Fonctionnalités

• 5 pistolets de pulvérisation magnétron pour 5 matériaux cibles différents
• Selon les alimentations utilisées (RF ou DC), des matériaux métalliques et non métalliques peuvent être déposés.
• Capable de pulvériser 5 matériaux cibles pour produire diverses compositions via différents temps/taux de pulvérisation
• Avec 5 alimentations en option, 5 matériaux cibles peuvent être pulvérisés en même temps pour une pulvérisation combinatoire
• 16 échantillons peuvent être déposés en un seul lot avec un masque et un porte-échantillon rotatif

La puissance d'entrée

• Monophasé 220 VCA, 50/60 Hz
• 1000 W (y compris pompe à vide et refroidisseur d'eau)

Source d'énergie

• Un générateur RF à correspondance automatique de 13,5 MHz et 300 W est inclus et connecté aux têtes de pulvérisation
• L'interrupteur rotatif peut activer une tête de pulvérisation à la fois. Les têtes de pulvérisation peuvent être commutées "dans le plasma" sans rupture de vide lors d'un processus multicouche.
• Plusieurs alimentations RF sont facultatives, ce qui permet à l'utilisateur de pulvériser plusieurs cibles en même temps pour la pulvérisation combinatoire
• Un ordinateur portable avec logiciel de contrôle est disponible moyennant des frais supplémentaires pour contrôler le temps et la puissance de pulvérisation de chaque pistolet RF

Optionnel

• Vous pouvez choisir une alimentation CC pour la pulvérisation de cibles métalliques
• Avec cinq alimentations CC ou RF, 5 matériaux cibles peuvent être pulvérisés en même temps pour une pulvérisation combinatoire

Tête de pulvérisation magnétron

• Cinq têtes de pulvérisation magnétron de 1 "avec des chemises de refroidissement à l'eau sont incluses et insérées dans la chambre de quartz via des pinces rapides
• Le remplacement du câble RF peut être acheté chez TMAX
• Un obturateur à commande manuelle est construit sur la bride (voir photo n ° 3)
• Un refroidisseur d'eau à recirculation à commande numérique de 10 L/min est inclus pour refroidir les têtes de pulvérisation
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Cible de pulvérisation

• Exigence de taille cible : 1" de diamètre x 1/8" d'épaisseur max
• Plage de distance de pulvérisation : 50 – 80 mm réglable
• Plage d'angle de pulvérisation : 0 – 25° réglable
• Cible en Cu de 1" de diamètre et Al 2 O 3 cible sont inclus pour les tests de démonstration
• Diverses cibles de pulvérisation d'oxyde 1" sont disponibles sur demande moyennant un supplément
• Pour le collage des cibles, des plaques de support en cuivre de 1 mm et 2 mm sont incluses. L'époxyde d'argent (Pic #1) et les plaques de support en cuivre supplémentaires (Pic #2) peuvent être commandés chez TMAX

Chambre à vide

• La chambre à vide est en acier inoxydable 304 avec une nervure de renforcement
• Taille de la chambre à vide intérieure : 470 mm L × 445 mm P × 522 mm H (~105 Litres, 18,5"x17,5"x 20,5")
• Rond 380 mm de diamètre. porte à charnières avec fenêtre en verre de 150 mm de diamètre
• Plage de température : -15 à 150 °C
• Niveau de vide : 4.0E-5 torr avec pompe turbo

Porte-échantillon

• Porte-échantillon rotatif de 150 mm de diamètre pour le revêtement de 16 échantillons d'un lot avec différentes compositions
• La rotation du porte-échantillon et du masque peut être contrôlée manuellement par un bouton ou automatiquement par un logiciel de contrôle (en option)
• La température du porte-échantillon est réglable de RT à 600 °C max

Pompe à vide

• Le port de vide KF40 est intégré pour se connecter à une pompe à vide.
• Une pompe turbo compacte est incluse
• 4.0E-5 Torr avec pompe turbo en option

Optionnel

• Le capteur d'épaisseur de quartz de précision est facultatif. Il peut être intégré dans la chambre pour surveiller l'épaisseur du revêtement avec une précision de 0,1 Å (refroidissement par eau nécessaire)
• Connexion USB facile au PC pour la surveillance à distance de l'épaisseur et de la vitesse de revêtement
• 5 capteurs à quartz (consommables) sont inclus

Poids net

• 60 kilogrammes

Conformité

• Homologation CE
• La certification MET (UL 1450) est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires, veuillez contacter notre représentant commercial pour un devis.

garantie

• Garantie limitée d'un an avec assistance à vie

Notes d'application

• Cette coucheuse de pulvérisation magnétron RF compacte de 1 "est conçue pour le revêtement de couches minces d'oxyde sur des substrats monocristallins d'oxyde, qui ne nécessitent généralement pas de configuration sous vide poussé
• Un régulateur de pression à deux étages (non inclus) doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression de sortie du gaz à moins de 0,02 MPa pour une utilisation en toute sécurité. Veuillez utiliser > Gaz Ar de pureté 5N pour la pulvérisation plasma
• Pour la meilleure force d'adhérence film-substrat, veuillez nettoyer la surface du substrat avant de recouvrir :
• Nettoyage par ultrasons avec les bains séquentiels suivants - (1) acétone, (2) alcool isopropylique - pour éliminer l'huile et la graisse. Séchez le substrat avec du N2, puis faites cuire à chaud sous vide pour éliminer l'humidité absorbée
• Un nettoyage au plasma peut être nécessaire pour la rugosité de la surface, l'activation des liaisons chimiques de surface ou l'élimination supplémentaire de la contamination
• Une fine couche tampon (~ 5 nm), telle que Cr, Ti, Mo, Ta, pourrait être appliquée pour améliorer l'adhérence des métaux et des alliages

• Pour de meilleures performances, les cibles non conductrices doivent être installées avec une plaque de support en cuivre. Veuillez vous référer à la vidéo d'instructions ci-dessous (#3) pour le collage de cibles
• TMAX fournit un substrat monocristallin de A à Z
• Les revêtements par pulvérisation plasma TMAX RF ont recouvert avec succès ZnO sur Al 2 O 3 substrat à 500 °C
• Testez la flexibilité du film mince/électrode enrobée avec Testeur de pliage de mandrin EQ-MBT-12-LD .
• HAUTE TENSION! Les têtes de pulvérisation se connectent à haute tension. Pour des raisons de sécurité, l'opérateur doit arrêter le générateur RF avant le chargement de l'échantillon et les opérations de changement de cible
• NE PAS utiliser l'eau du robinet dans le refroidisseur d'eau. Utilisez du liquide de refroidissement, de l'eau DI, de l'eau distillée ou des additifs anticorrosion avec de l'eau
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