La puissance d'entrée

• Monophasé 220 VAC, 50 / 60Hz
• 700 W (y compris pompe à vide)
• Pour utiliser 110 VAC, nous inclurons un transformateur pour vous. Veuillez sélectionner la tension dans les options du produit

Puissance de sortie

• 1600 Vcc
• 40 mA maximum

Chambre à vide

• Chambre à vide : 150 mm ID x 165 mm OD x 150 mm H, en quartz de haute pureté
• Bride d'étanchéité en acier inoxydable avec joint torique plat

Platine d'échantillonnage avec chauffage

• Taille de scène : 50 mm de diamètre.
• Plage de distance de pulvérisation : 25 – 40 mm réglable
• Platine rotative à trois positions de pulvérisation (contrôlée par l'écran tactile)
• Chauffe-substrat est intégré avec une température de chauffage maximale de 500 °C
• Le régulateur de température PID avec une précision de +/- 1 °C est intégré à l'écran tactile

Panneau de commande

• Écran tactile couleur 6" avec intégration PLC pour une utilisation facile
• La jauge à vide, le compteur de courant de pulvérisation et le contrôle de la température du substrat sont intégrés à l'écran tactile
• Boutons de réglage sur le panneau avant pour l'admission de gaz et le contrôle du courant de pulvérisation
• La position de pulvérisation, la minuterie de pulvérisation et l'enregistrement du processus sont accessibles depuis l'écran tactile

Bouclier

• Acier inoxydable cage de bouclier est inclus pour une protection supplémentaire

Cibles de pulvérisation

• Exigences de taille cible : 47 mm de diamètre. x 2,5 mm maximum
• Trois cibles sont incluses dans le package standard pour une utilisation immédiate :
• Au cible , 47 mm de diamètre. x 0,12 mm
• Ag cible , 47 mm de diamètre. x 0,5 mm
• Cu cible , 47 mm de diamètre. x 2,5 mm
• Diverses cibles sont disponibles sur commande chez MTI

Pompe à vide
(Optionnel)

• Orifice de vide KF25 intégré pour le raccordement à une pompe à vide.
• Une pompe à vide avec connecteur KF25 est nécessaire, mais non incluse. L'utilisateur peut choisir
• UN pompe à vide mécanique à deux étages pour le vide jusqu'à 1.0E-2 Torr.
• Ou un pompe turbo pour le vide jusqu'à 1.0E-5 Torr
• La pompe à vide peut être branchée sur la prise de courant à gauche de la coucheuse pour un contrôle automatique
• 

Dimensions

• 440 mm de longueur × 330 mm de largeur × 455 mm de hauteur

Poids net

• 50 kilogrammes

Conformité

• Homologation CE
• La certification MET (UL 1450) est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires, veuillez contacter notre représentant commercial pour un devis

garantie

• Un an limité avec support à vie

Notes d'application

• Pour la meilleure force d'adhérence film-substrat, veuillez nettoyer la surface du substrat avant de recouvrir :
• Nettoyage par ultrasons avec les bains séquentiels suivants - (1) acétone, (2) alcool isopropylique - pour éliminer l'huile et la graisse. Séchez le substrat avec du N2, puis faites cuire à chaud sous vide pour éliminer l'humidité absorbée
• Un nettoyage au plasma peut être nécessaire pour la rugosité de la surface, l'activation des liaisons chimiques de surface ou l'élimination supplémentaire de la contamination
• Une fine couche tampon (~ 5 nm), telle que Cr, Ti, Mo, Ta, pourrait être appliquée pour améliorer l'adhérence des métaux et des alliages

• Un régulateur de pression à deux étages (non inclus) doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression de sortie du gaz à moins de 0,02 MPa pour une utilisation en toute sécurité. Veuillez utiliser > Gaz Ar de pureté 5N pour la pulvérisation plasma
• La coucheuse par pulvérisation peut être placée dans une boîte à gants à gaz Ar et N2 pour le revêtement
• HAUTE TENSION! Les têtes de pulvérisation se connectent à haute tension. Pour des raisons de sécurité, l'opérateur doit arrêter l'équipement avant le chargement de l'échantillon et les opérations de changement de cible
• Ce modèle ne convient pas au revêtement de matériaux métalliques légers tels que Al, Mg, Zn, Ni, etc. en raison de sa faible énergie. Veuillez considérer notre coucheuse par pulvérisation magnétron ou notre coucheuse par évaporation thermique. Cliquez sur les images ci-dessous pour plus de détails