Structure compacte

La puissance d'entrée

• Monophasé 220 VAC 50 / 60 Hz
• 2000 W (y compris pompe à vide et refroidisseur d'eau)

Alimentation d'origine

• Trois sources d'alimentation de pulvérisation sont intégrées dans un seul boîtier de commande (Cliquez sur l'image ci-dessous pour voir les spécifications détaillées)
• Source CC : puissance de 500 W pour le revêtement de matériaux métalliques (Pic 1)
• Source RF : puissance de 300 W, fréquence de 13,56 MHz pour le revêtement de matériaux non conducteurs (Pic 2)

Tête de pulvérisation magnétron

• Trois têtes de pulvérisation magnétron 2" avec des chemises de refroidissement par eau et des obturateurs sont inclus
• Un modèle de tête de crachat également disponible.
• Exigence de taille cible : 2" de diamètre
• Plage d'épaisseur : 0,1 à 5 mm pour les cibles métalliques et non conductrices (y compris la plaque de support)
• Une Cible en acier inoxydable et une note de recherche Cible Al2O3 sont inclus pour les tests de démonstration
• Des cibles de pulvérisation de 2 "en option (ou une plaque de support) sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires.
• Recette de pulvérisation recommandée et conseils utiles
• Coucheuse personnalisée : Deux DC - Un RF ; Deux RF - Un CC ; Trois CC ; Trois RF (veuillez sélectionner parmi les options du produit)
• En option : un câble RF de 148 cm peut être commandé moyennant un supplément pour remplacement

Chambre à vide

• Chambre à vide : 300 mm Dia. x 300 mm Hauteur, en acier inoxydable
• Hublot : Deux pièces de 100 mm de diamètre. verre. Un fixe ; un détachable pour le nettoyage et le remplacement
• Couvercle de type à charnière avec pôle d'alimentation pneumatique permettant un changement de cible facile

Étape d'échantillonnage

• Le porte-échantillon est une platine rotative et chauffante composée d'un élément chauffant en céramique avec couvercle en cuivre
• Taille du porte-échantillon : 140 mm Dia. pour. plaquette 4" maximum
• Vitesse de rotation : 1 - 20 tr/min réglable pour un revêtement uniforme
• La température du support est réglable de RT à 500 °C max (2 h max) avec une précision de +/- 1,0 °C via un régulateur de température numérique

Contrôle du débit de gaz

• Deux contrôleurs de débit massique de précision (MFC) sont installés pour permettre l'entrée de deux types de gaz
  
  
• Débit : 0 – 200 mL/min & 0 - 100 ml/min réglable sur le panneau de commande à écran tactile
• La soupape d'admission d'air est installée pour la libération du vide

Station de pompage à vide

• Une station de pompage mobile est incluse. La coucheuse par pulvérisation peut être placée au-dessus de la station
• La pompe turbo à grande vitesse à la vitesse 80L/S est combinée à une pompe mécanique à deux étages (220 L/min) pour un niveau de vide maximal et une vitesse de pompage plus rapide
• Niveau de vide standard connecté à la chambre : < 4.0E-5 Torr. . (1.0E-6 Torr avec chambre de cuisson)
• En option moyennant supplément
• Si vous choisissez une pompe turbo haute vitesse 150L/S, le vide peut atteindre 10-6 torr avec chambre (6x10-7 torr avec cuisson)
• Pour l'ultra-vide jusqu'à 10^-7 torr, une pompe getter (100L/s H2 & O2) est nécessaire en plus de la turbopompe. Veuillez consulter nos ingénieurs pour une personnalisation détaillée.
• Pompe turbo haute vitesse 150L/S
• Pompe getter
• 

Refroidisseur d'eau

• Une température numérique contrôlée refroidisseur d'eau à recirculation est inclus.
• Plage de réfrigération : 5~35 °C
• Débit : 16 L/min
• Pression de la pompe : 14 psi

Optionnel

• Quartz précis Moniteur d'épaisseur de film est facultatif, qui peut être dans la chambre pour surveiller l'épaisseur du revêtement avec une précision de 0,10 Å
• Précision Film mince & amp; Systèmes d'analyse de revêtement - EQ-TFMS-LD est disponible moyennant des frais supplémentaires
• Diverses cibles d'oxyde et métalliques de 2" sont disponibles sur demande moyennant un supplément. Des plaques de support en époxy argenté et en cuivre peuvent être commandées chez TMAX

Dimensions hors tout

Poids net de la coucheuse

• 160 kilogrammes

Poids d'expédition & Dimensions

• Total 3 Palettes
• 365 lb, 48" x 40" x 45"
  
  
• 390 livres, 48" x 40" x 49"
  
  
• 210 livres, 48" x 40" x 30"
  
  

Conformité

• Homologation CE
• La certification MET (UL 1450) est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires, veuillez contacter notre représentant commercial pour obtenir un devis.

garantie

• Garantie limitée d'un an avec assistance à vie

Notes d'application

• Un régulateur de pression à deux étages (non inclus) doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression de sortie du gaz en dessous de 0,02 MPa pour une utilisation en toute sécurité
• Afin d'éliminer l'oxygène de la chambre, TMAX vous suggère d'utiliser 5 % d'hydrogène + 95 % d'azote pour nettoyer la chambre 2 à 3 fois, ce qui peut réduire le niveau d'oxygène à < 10 ppm
• Veuillez utiliser > Gaz Argon de pureté 5N pour la pulvérisation plasma. Même si l'Ar de pureté 5N contient généralement de 10 à 100 ppm d'oxygène et de H2O selon le fournisseur. TMAX vous suggère d'utiliser dispositif d'épuration des gaz pour purifier le gaz avant de remplir.
• Pour de meilleures performances, les cibles non conductrices doivent être installées avec une plaque de support en cuivre. Veuillez vous référer à la vidéo d'instructions ci-dessous pour la liaison cible
• TMAX fournit un substrat monocristallin de A à Z
• Les revêtements par pulvérisation TMAX ont recouvert avec succès ZnO sur Al 2 O 3 substrat à 500 °C
• Testez la flexibilité du film mince / de l'électrode enrobée avec Testeur de pliage de mandrin EQ-MBT-12-LD .
• HAUTE TENSION! Les têtes de pulvérisation se connectent à haute tension. Pour des raisons de sécurité, l'opérateur doit arrêter le générateur RF / DC avant le chargement de l'échantillon et les opérations de changement de cible
• NE PAS utiliser l'eau du robinet dans le refroidisseur d'eau. Doit utiliser des liquides de refroidissement antirouille pour prévenir la rouille et la corrosion.